коэффициент усиления в цепи обратной связи Feed Back Loop Gain установлен на значении 3,
Нажал кнопку Set
Interaction и убедился, что параметр Amplitude Suppression в окне Set
Interaction (Рис. 50) имеет величину около 0.3.
Рис. 50. Окно установки
величины взаимодействия зонда и образца
. Нажал на кнопку RUN.
Индикатор Steps начинает отсчитывать пройденные шаги. После захвата взаимодействия появляется сообщение Landingdone.
Для вывода зонда из обратной связи и увеличения расстояния между зондом и образцом используется режим отвода зонда (Probe Moving: Rising). Для выполнения операции отвода выбрал направление движения Probe Moving: Rising и нажал кнопку RUN.
Сканирование
После выполнения
процедуры подвода (Landing) и захвата взаимодействия становится доступным
сканирование (кнопка
в
окне панели управления прибором).
Нажав эту кнопку (вид окна сканирования представлен на Рис. 51), приступил непосредственно к проведению измерений и получению результатов измерений.
В режиме сканирования установил параметры сканирования. Эти параметры сгруппированы в правой части верхней панели окна Scanning.
В первый раз после запуска программы они устанавливаются по умолчанию:
Площадь сканирования Scan Area (Xnm*Ynm): 5000*5000 нм;
Количество точек
измерений по осям X, Y: NX=100, NY=100;
Скорость сканирования Velocity= 1000 nm/s;
Путь сканирования Path определяет направление сканирования. Программа позволяет выбирать направление оси быстрогос канирования(Х или Y). При запуске программы устанавливается Path=X+.
После задания параметров
сканирования нажал кнопку Apply для подтверждения ввода параметров и кнопку RUN
для начала сканирования.
Рис. 51. Окно управления процессом и отображения результатов сканирования ССМ
Для сохранения
результатов измерения нажал кнопку Save Experiment в окне сканирования и в
появившемся окне диалога выбрал каталог и указал имя файла.
Список используемых
источников
1. Булыгина Е.В, Макарчук В.В, Панфилов Ю.В., Оя Д.Р., Шахнов В.А. «Нанорзмерные структуры: классификация, формирование и исследование»: Учебное пособие для Вузов. М.: 2006 г
. В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений. ИФМ РАН- г. Н. Новгород, 2004 г.
. Дедков Е.Г., Чуприк А.А., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., «Приборы и методы зондовой микроскопии» МФТИ Учебное пособие М., 2011 г.
. Тихомиров А.А. Основы сканирующей зондовой микроскопии и методы ее применения в современных научных исследованиях». Приложение к журналу «Вестник РГТУ» №4 Рязань 2009 г.
. Сусло А.А., Чижик С.А., «Методы испытаний и оборудование». Журнал материал, технологии, инструмент №3 1997 г.
. Дубровин Е.В., Мешков Г.Б, Яминский И.В. « Сканирующая зондовая микроскопия: получение трехмерных изображений». Лабораторная работа
. Руководство пользователя прибора NanoEducator модель
СЗМУ-Л5