Материал: Нанотехнологии для всех (Рыбалкина), 2005, c.444

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

молекулярной цепи. Распространенным примером проводяще го полимера является полианилин.

На проводящих полимерах основана молекулярная элект роника. Например, ученые из Аризонского университета созда ли ограничитель напряжения из семи анилиновых фрагментов. Разрабатываются молекулярные транзисторы, конденсаторы, диоды.

Американская компания Superconnect разработала матери ал, который в будущем поможет ускорить передачу данных в Интернете в сто раз! Это особый полимер, склеенный с набо ром фуллеренов, позволяющий управлять потоками света при помощи других потоков (т.е. чисто фотонный транзистор).

Это — первый шаг на пути создания полностью оптических маршрутизаторов в Интернете. Сейчас для управления по токами данных (которые между крупны ми узлами передаются по оптоволокну), их преобразовывают из оптических им пульсов в электронные. Чипы определя ют направление передачи и переключа ют канал, после чего поток битов в виде электронов снова переводят в световые

импульсы и отправляют к месту назначения. Такие двойные преобразования — одно из узких мест, снижающих общую про пускную способность Интернета. Заменив обычные маршрути заторы, сочетающие оптические и электронные компоненты, на полностью оптические, можно будет повысить скорость пе редачи данных в сто раз.

Дешевизна производства полимеров открывает перед орга нической электроникой новые области применения. Напри мер, такие полимеры позволят печатать любую ИС на простых компьютерных принтерах, используя особый химический раст вор вместо чернил. Это — колоссальное технологическое и эко номическое преимущество, ведь принтер прост в обращении и стоит копейки по сравнению с традиционным дорогостоящим оборудованием для изготовления интегральных микросхем.

На принтерах, например, в ближайшее время сотрудники британской компании Cambrige Display Technologies собирают ся наладить выпуск видеодисплеев для мобильных телефонов и

188

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

других переносных устройств. Ис ходным материалом для таких дисплеев будут новые светоизлу чающие полимеры, где излучение происходит в результате рекомби нации электронов и дырок. Также в скором времени следует ожидать массового производства новых пластиковых мониторов на основе полимерных матриц. На фото изображен один из лабораторных образцов таких дисплеев компа нии Universal Display.

Более того – если можно печатать и проводники, и полиме ры, то почему бы не напечатать на принтере сам принтер? Именно это и стремятся сделать добровольцы проекта RepRap – самореплицирующийся принтер, который сможет печатать все детали для своих копий из проводящих, полупроводящих и неп роводящих полимерных чернил. Конечно же, он сможет не только размножаться на таком принтере можно будет запросто «распечатать» цифровую фотокамеру или мобильный телефон!

Появление и развитие MЕMS и NEMS технологии

Итак, мы вкратце рассмотрели процесс развития полупро водниковой электроники от элементарного селенового фоторе зистора до изготовления сложных интегральных микросхем. Появление и развитие МЕМS технологий явилось следующим шагом на пути эволюции полупроводниковой техники.

Английская аббревиатура “MEMS” (или по русски “МЭМС”) расшифровывается как микроэлектромеханические системы. Соответственно, NEMS технология использует на ноэлектромеханические системы. Понятно, что приставки “микро” и “нано” характеризуют уже привычные для нас чрез вычайно малые масштабы. Поэтому сначала нужно понять – а что же такое электромеханическая система.

Без особого преувеличения можно сказать, что начало сов ременной электротехники положил гениальный английский ученый Макс Фарадей, открывший в 1873 году явление элект

* Перепечатано с www.universaldisplay.com

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

ромагнитной индукции. Суть его чрезвычайно проста: если рамку из металлической проволоки вращать в магнитном поле, то по ней потечет электрический ток. Другими словами, меха ническая энергия перейдет в электрическую.

И наоборот, если по рамке, находящейся в магнитном поле, пропустить ток, то рамка начнет вращаться. Это иллюстрирует работу простейшего электродвигателя, где вращающаяся рамка выполняет функцию ротора.

Вращающаяся металлическая рамка в магнитном поле это прообраз генератора электрического тока.

Мы видим, что рассмотренные выше процессы взаимооб ратимы, то есть одну и ту же электромеханическую систему можно использовать и как двигатель, и как генератор. При ны нешнем уровне развития науки и техники изготовление элект ромеханических устройств в масштабе, скажем, миллиметров или даже сотен микрон не составляет принципиальных труд ностей. Такие устройства и получили название микро или на ноэлектромеханические системы.

МЭМС представляют собой трехмерные микрообъекты и микромашины: моторы, насосы, турбины, микророботы, микродатчики или целые аналитические микролаборатории, выполненные на кремниевой подложке.

Их размеры могут быть меньше спичечной головки, и поэ тому использование МЭМС позволит резко уменьшить массу и объем традиционной электронной техники, а также значитель но снизить ее стоимость.

Впервые о возможностях таких устройств заговорили еще в 1959 году. Но для превращения МЭМС из любопытных лабора торных “игрушек” в реальные изделия, пользующиеся спросом на рынке, потребовалось целых 40 лет. Только в конце 90 х на чалось освоение промышленного производства МЭМС, а сей час МЭМС широко используются в самых различных сферах человеческой деятельности: в телекоммуникациях, медицине, транспорте и т.д. MEMS системы на сегодняшний день явля ются ключевым фактором в развитии нанотехнологий. Именно на базе таких систем планируется создание наноманипуляторов и нанороботов.

190

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

Традиционный микропроцессор способен лишь на то, чтобы решать определенный алгоритм и выдавать тот или иной результат вычислений. Микроэлектромеханические же уст ройства способны не только обрабаты вать определенные данные, но и вы полнять некоторые движения, то есть выступать в роли микророботов.

Если ИС обеспечила проводникам возможность “думать”, то МЭМС поз воляет им “ощущать”, общаться и взаимодействовать с внеш

ним миром. Поэтому без преувеличения можно сказать, что МЭМС – это новая волна полупроводниковой революции. По мнению экспертов, развитие МЭМС аппаратуры может иметь такие же последствия для научно технического прогресса, ка кие оказало появление микроэлектроники на становление и современное состояние ведущих областей науки и техники.

Изготовление МЭМС очень похоже на создание микросхем. Здесь также ис пользуется кремний – самый популярный в микроэлектро нике материал, а технология создания МЭМС устройств очень напоминает процедуру создания ИС. И в той, и в дру гой имеется замечательная возможность создавать необ

ходимые структуры в едином технологическом процессе. И планарной, и МЭМС технологии присущи осаждение мате риала, перенос изображений и удаление промежуточных слоев (в МЭМС для отделения механических частей).

Как правило, создание микромеханических изделий требует создания более толстых пленок, более глубокого травления, а сам технологический процесс имеет значительно больше этапов.

* Пперепечатано с www.memx.com

** Перепечатано с www.cmp.caltech.edu

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

Как ни удивительно, но МЭМС системы могут выступать не только в роли сенсоров и «мускулов» микро и нанороботов. Они также могут быть основой нанокомпьютеров.

История создания компьютеров начинается в девятнадца том веке с универсальной механической машины Чарльза Бэб биджа. В 1833 г. английский ученый, профессор Кембриджского университета Чарльз Бэббидж разработал гигантский арифмо метр с программным управлением, арифметическим и запоми нающим устройствами. Аналити ческая машина Бэббиджа стала предшественницей и прообразом современных компьютеров и ма шин с программным управлени ем. Как ни странно, но она была полностью механической. И это не мешало ей выполнять простей шие арифметические и логичес кие операции, а также хранить

Рис 113. Машина Чарльза Бэббиджа*

полученные результаты.

Подобие машины Бэббиджа ученые собираются создать в наномасштабе, используя «НЭМС арифмометры».

Эрик Дрекслер предложил проект механокомпьютера – компьютера, в котором все логические операции, хранение и обработка информации производятся с помощью последова тельных движений системы стержней. Используя нанотехноло гически измененные материалы (например, алмаз или сапфир), можно добиться высокой скорости распространения информа ции. Дрекслер составил детальное описание подобного компь ютера на основе механотранзисторов, причем размеры подоб ного устройства составят всего 400х400х400 нм.

При этом его вычислительная мощность 1016 операций в секунду, что можно приравнять к производительности совре менного персонального компьютера Penthium IV с тактовой частотой 1 ГГц. Если представить себе такой механокомпьютер в сравнении с красной кровяной клеткой (эритроцитом), то эритроцит будет больше в 10 15 раз!

Если использовать эти наноустройства для хранения ин формации, то полученная механическая память будет выгоднее

* Перепечатано с http://old.ej.ru/033/btw/any/

192