Материал: Нанотехнологии для всех (Рыбалкина), 2005, c.444

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

Диффузию используют для создания р и n областей. Для этого в кремний в качестве акцептора вносят бор (B), а в каче стве доноров – фосфор (P) и мышьяк (As). Процесс заключает ся в нагреве пластины и внедрении в нее ионов с высокой энер гией.

Металлизация завершает изготовление чипа. В ходе этого процесса осаждаются тонкие металлические пленки из алюми ния, золота или никеля, которые образуют электрические сое динения между активными областями и приборами на кристал ле те токопроводящие линии и контактные площадки, кото рые мы можем наблюдать на любой микросхеме.

Итак, процесс изготовления микросхем включает несколько технологических этапов: очистка, окисление, литография, травление, диффузия, осаждение и металлизация.

Развитие литографии

Бесспорно, для дальнейшего развития электроники, т.е. увеличения производительности за счет уменьшения размеров чипов, ключевым моментом является совершенствование ме тодов литографии.

Это значит, что толщина линий, наносимых светом на пове рхности фоторезиста в момент формирования “рисунка” мик росхемы, должна стремиться к уменьшению. Этого можно дос тичь уменьшением длины волны, ведь чем меньше длина волны, тем более мелкие детали рельефа она позволяет «нарисовать».

Первоначально засветка производилась инфракрасным из лучением с длиной волны чуть более 1 микрона – и ширина до рожек была примерно такой же. Затем стандартными стали длины волн 435 и 365 нм. При помощи источника излучения с длиной волны 365 нм вычерчивались линии толщиной до 0,35 микрон, что почти соответствует длине волны.

Затем благодаря переходу на источники, действующие в спектре глубокого УФ излучения (DUV*литография “Deep Ultra Violet”) с длиной волны 248 нм, полупроводниковая промыш ленность перешла на 0,18 микронную литографию. Достиже ние топологических размеров в 100 нм и меньше потребует уменьшения длины волны излучения, возможно, за счет при менения принципиально новых источников.

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

В настоящее время интенсивно развивается EUV*литогра* фия (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета, обеспечивающая толщину линий проводников в 70 нм, что примерно в тысячу раз меньше толщины челове ческого волоса.

EUV литография является обычной литографией, но с ис пользованием излучения с длиной волны 11 14 нм, отража тельной оптикой и фотошаблонами. Оптическая система со держит набор зеркал между источником света и маской.

Рис 106. Схема оптической литографии

Чтобы дать читателю представление о преимуществах EUV литографии, приведем несколько наглядных примеров:

·EUV технология приводит к появлению микропроцес соров в 30 раз быстрее существующих. Процессор в 10 ГГц, нап ример, будет настолько быстрым, что, например, за время, по ка человек успевает моргнуть глазом (около 1/5 секунды), он сможет произвести порядка 2 млрд. вычислений.

·EUV литография предназначена для печати на кремни евой подложке элементов размером 0,07 мкм (70 нм) и менее. Это все равно, что рисовать изображение размером с двухрубле вую монету на поверхности Земли с космического корабля, а затем поверх него печатать другую картинку, четко совмещая их между собой. На одном кристалле соли (с ребром 0,25 мм) раз местилось бы около 3600 таких 70 нанометровых элементов.

·Элементы, нанесенные с помощью EUV и DUV литог рафии, примерно так же отличаются друг от друга, как две оди

184

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

наковые линии, проведенные на бумаге шариковой ручкой (EUV) и маркером (DUV).

Переход к EUV литографии позволил пересечь 100 нм ру беж, оставаясь в рамках традиционной фотолитографии. Одна ко сложная зеркальная оптика и технология изготовления фо тошаблонов делает такой подход исключительно дорогим, ос тавляя место для разработки литографических процессов, ос нованных на иных физических принципах.

Проводящие полимеры

Долгое время основными материалами микроэлектроники считались кремний основа чипов, и медь, используемая в то копроводящих дорожках и контактах. Пластмассовым в компь ютере был разве что корпус монитора. Однако прогресс не сто ит на месте, и в последнее время все большую популярность за воевывают проводящие полимеры, которым, по прогнозам ма териаловедов, в ближайшие годы предстоит стать чуть ли не ос новным сырьем для производства полупроводниковой техни ки. Но прежде чем говорить об электропроводимости таких ве ществ, давайте вспомним, что же такое полимеры вообще.

Полимеры это огромные молекулы цепочки (макромолекулы), состоящие из большого числа многократно повторяющихся однотипных молекул звеньев (мономеров). Греческая приставка "поли", означает "много".

Типичным полимером является уже знакомая нам молеку ла белка, состоящая из сотен молекул аминокислот. В природе полимеры встречаются на каждом шагу. Они – важная часть любого микроорганизма, растения, животного. Например, цел люлоза, крахмал, каучук, природные смолы – примеры поли меров растительного мира. В человеческом организме также немало полимеров: мышцы, кожа, волосы и др.

До недавнего времени полимеры создавала только природа. Но в 20 х годах прошлого столетия человек узнал ее секрет и научился синтезировать их самостоятельно. Искусственные по лимеры прочно вошли в наш быт под видом таких привычных веществ, как полиэтилен, капрон, нейлон и другие виды пласт масс. Сегодня благодаря своим ценным свойствам пластмассы повсеместно заменяют древесину, металл, стекло. Пластмассы

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

не боятся влаги и едких кислот, не подвержены ржавчине и гни ли и к тому же изготавливаются из дешевого углеводородного сырья.

Меняя длину и способы переплетения цепочек полимеров, можно управлять прочностью и эластичностью пластмасс. Сто ит к цепочке добавить еще хотя бы одно звено или ввести не большое количество примесей — и у полимера появляются но вые свойства. Одни пластмассы по прочности сравнимы с са мой лучшей сталью, другие эластичнее резины, третьи прозрач ны, как хрусталь, но не разбиваются. Одни пластмассы мгно венно разрушаются под действием тепла, другие способны вы держивать очень высокую температуру. Зная все это, ученые на сегодняшний день создали сотни тысяч различных синтетичес ких полимеров.

Строение и состав полимеров

Однотипные атомы или группы атомов в макромолекуле могут иметь линейную, разветвленную или пространственную структуру. К линейным полимерам относится, например, нату ральный каучук. К разветвленным амилопектин, к сложным пространственным нанотрубки.

Образование полимеров

Природные полимеры образуются в процессе биосинтеза в клетках живых организмов. Они могут быть выделены из расти тельного и животного сырья. В основе получения синтетичес ких полимеров лежат химические процессы полимеризации и поликонденсации. Реакцией полимеризации называется получе ние новой макромолекулы с большим молекулярным весом из атомов или простых молекул мономеров, причем это новое соединение имеет одинаковый с мономерами состав. На рисун ке приведена условная схема реакций полимеризации (а) и по ликонденсации (б).

186

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

Рис 108. Реакции образования полимеров: а) полимеризация, б) поликонденсация

Электропроводимость полимеров

Отличительным свойством синтетических полимеров до недавнего времени считалось их нулевая электропроводность. Все привычные типы пластмасс являются хорошими диэлект риками благодаря прочным ковалентным связям, образующим макромолекулярные соединения.

Однако эпохальное достижение трех нобелевских лауреатов 2000 года Алана МакДайармида (США), Алана Хигеру (США)

иХидеки Ширакаве (Японии) – круто изменило общеприня тую точку зрения. Этим ученым впервые удалось превратить пластмассу в электрический проводник.

Как это часто бывает в истории науки, открытию помогла случайность. Студент Ширакавы как то по ошибке добавил слишком много катализатора, в результате чего бесцветный пластик вдруг стал отражать свет подобно серебру, и это навело на мысль о том, что он перестал быть изолятором. Дальнейшие исследования привели к открытию полимера с проводимостью, в десятки миллионов раз превосходящей обычный пластик. Это открывает путь к новой электронике ХХI века, основанной на органических материалах. Ведь органические материалы легче

игибче традиционного кремния, им проще придать нужную форму, в том числе и трехмерную.

Что же представляют собой проводящие полимеры? Если коротко, то основой для них служат вещества с молекулами, в которых имеются чередующиеся двойные углеродные связи. В чистом виде они не являются проводниками, поскольку элект роны в них локализованы в силу их участия в образовании ко валентных химических связей. Для освобождения электронов применяются различные примеси, после их ввода появляется возможность перемещения зарядов (электронов и дырок) вдоль