А.4.3.4 У структурі з параметрами задачі А.4.3.3 визначити порогову напругу, враховуючи, що в розглядуваному випадку густина індукованого
рухливого заряду Qn = 0 .
А.4.3.5 Для структури А.4.3.3 визначити ємність при малих сигналах і на високих частотах в режимі сильної інверсії. Вважати, що ε0к = 4 , а
εн =12 .
А.4.3.6 Визначити напругу плоских зон для системи Al-SiO2-Si, яка залежить лише від різниці робіт виходу. Підкладка р-типу, що знаходиться при Т = 300К, має концентрацію дірок 5·1015см-3. Густиною заряду QSS на поверхні можна знехтувати. Вихідні дані: еФмн = 3, 2еВ; еФмо = 3, 25еВ;
Еqn =1,1еВ ; пі =1,5 1010 см−3 .
А.4.3.7 Деяка МОН-структура створена на кремнієвій підкладці р- типу з орієнтацією (111). Концентрація акцепторної домішки Na =1015 см−3 , товщина оксидного шару х0к =120нм, затвор виконано з алюмінію. Визначити порогову напругу, якщо відомо, що при даній орієнтації поверхнева густина заряду складає 4,8·10-8 Кл/см2. Вихідні параметри:
Фмо = 3, 2В ; Фно =UF +3,8В.
А.4.3.8 Структура МОН має кремнієву підкладку р-типу, леговану акцепторною домішкою з концентрацією Na =1015 см−3 , орієнтація кристала (111). Товщина оксидного шару 1,2 мкм, затвор виконано з алюмінію.
Густина поверхневого |
заряду |
на межі оксид-напівпровідник |
||
QSS = 5 1011 е =8 10−8 Кл/ см2 . |
Знайти |
порогову напругу, |
якщо відомо, |
що |
пі =1,5 1010 см−3 ; еФмо = 3, 2еВ; еФно = 3, 25еВ . |
|
|
||
А.4.3.9 У МОН-структурі, що виготовлена з кремнію п-типу з |
||||
концентрацією домішки Nd = 5 1015 см−3 , яка має товщину оксидного шару |
||||
xок =100нм і алюмінієвий затвор, порогова напруга Uпор |
= −2,5В . Визначити |
|||
значення величини QSS / е, що являє собою концентрацію носіїв на поверхні. |
||||
А.4.3.10 Структура |
МОН |
має підкладку з |
кремнію р-типу |
з |
концентрацією домішки Na = 5 1014 см−3 і оксидний шар товщиною 112 нм. Максимальна питома ємність в режимі малого сигналу на високих частотах складає 30нФ/см2. При UЗ =3В(напруга збігається з Um) і потенціалі US = 0,52В, який постійний в режимі інверсії. Визначити порогову напругу і відповідну ємність Сmin, якщо максимально досяжна товщина збідненої області ωт =1,17мкм.
А.4.3.11 Використовуючи дані задачі А.4.3.10 визначити: а) густину заряду Qss з врахуванням зарядів тільки в оксидному шарі; б) густину заряду
в |
збідненій області, інверсному шарі, оксидному шарі і металі при |
UЗ |
= 0 . Відомо, що еФмн = −0,3еВ. |
|
190 |
А.4.3.12 Конденсатори типу МОН мають підкладку з концентраціями домішки Na=1014; 1015 і 106 см-3. Визначити для кожного з трьох указаних значень концентрації: а) максимальну товщину області просторового заряду;
б) |
порогові напруги, вважаючи, що еФмн = −0,1еВ; С0 = 3, 45 10−8Ф/ см2 ; |
xок |
=100нм; QSS =1, 6 10−8 Кл/ см2 . |
|
А.4.3.13 Визначити напругу плоских зон для таких розподілів густини |
позитивного заряду: а) рівномірний розподіл в напрямку поперек оксидного шару з густиною 1,5 1015 е = 2, 4 10−4 Кл/ см2 ; б) ступінчастий розподіл з нульовою густиною в межах половини відстані від затвора до підкладки і з постійною густиною 3 1015 е = 4,8 10−4 Кл/ см2 в залишковій області до межі поділу між оксидним шаром і напівпровідником; в) лінійний розподіл, що починається з нульової густини на затворі і досягає 3 1015 е= 4,8 10−4 Кл/ см2 на межі поділу. Товщина оксидного шару 80 нм, відносна діелектрична
проникність підкладки дорівнює 3,9. |
|
А.4.3.14 |
Маємо МОН-транзистор з каналом р-типу, у якого |
Nd =1015 см−3 ; |
QSS = 3, 45 1011 = 8 10−8 Кл/ см2 : а) визначити напругу Uпор, якщо |
товщина оксидного шару хок = 0,1мкм. Повторіть розрахунок при хок =1мкм; б) використти рівняння:
ІС |
= |
b |
μрС0 |
(U |
З |
−Uпор ) UС |
− |
1 |
U |
С2 |
|
, |
|
|
l |
2 |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
побудувати |
|
стоко-затворні |
|
характеристики |
транзисторів |
з |
||||||||
параметрами, вказаними в п. а). Вважати, що струм Іс нас постійний після переходу за точку відсічки. Показати, що μр =150см2 В−1с−1 ; b / l = 5 ; в) для
оцінювання частотних властивостей |
МОН-транзистора використовують |
||||
поняття граничної частоти |
fгр = |
S |
|
, де питома ємність затвора СЗ |
|
2 pCЗb l |
|||||
|
|
|
|||
збігається з ємністю С0 при конкретній напрузі. Виразити величину fгр далі від початку характеристики через параметри матеріалів і розміри приладу. Знайти значення fгр для транзистора, описаного в п. а), при l =1мкм.
А.4.3.15 МОН-транзистор з каналом р-типу має параметри: b / l =5 ;
С0 = 3, 45 10−8Ф/ см2 ; μр = 200см2 В−1с−1 ; UС = +5В; UЗ −Uпор = 3В. Найти
значення S і Sниж.
А.4.3.16 Визначити максимальну поверхневу густину рухливого заряду дірок Qр , яка може спостерігатися у МОН-конденсаторі з алюмінієвим затвором при інжекції на межі Si-SiO2. Підкладка з кремнію п- типу легована з концентрацією домішки Nd =1015 см−3 , товщина оксидного
шару 100 нм. На затвор подано імпульс напруги з амплітудою -10В, напруга на межі поділу стає меншою мірою рівною -2В. Відомо, що
QSS = 5 1010 Кл/ см2 ; Фмн = −0,3В.
191
А.4.3.17 МОН-транзистор з каналом р-типу створений на кремнієвій підкладці п-типу з концентрацією домішки Nd =1016 см−3 . Затвор з алюмінію, підзатворним діелектриком служить шар оксиду кремнію товщиною хок =150нм. Відомо, що QSS = 2 1011 е = 3, 2 10−8 Кл/ см2 ; Фмн = −0, 25В. Визначити значення параметрів ωт, Uпз і Uпер.
А.4.3.18 Маємо кремнієвий МОН-транзистор з каналом п-типу з
такими параметрами:Na = 1017cм-3; Фмн |
= -0,95В; Qss=5·1011·e = |
||
= 8·10-8Кл/см2; xок = 150нм. Визначити порогову напругу. |
|||
А.4.3.19 Повторити А.4.3.18 відносно транзистора з каналом р-типу |
|||
при концентрації |
= 1017см-3 і тих же величинах параметрів QSS і xок. Нову |
||
величину Uпор визначити, враховуючи зміну рівня Фермі WF (зміна |
|||
параметра eUF |
складає 0,407еВ). |
|
|
А.4.3.20 Польовий МОН-транзистор з каналом п-типу має такі |
|||
параметри: |
= 4; |
= 100нм; b / l =10 ; |
= 1000cм2В-1с-1; Uпор = 0,5В. |
а) визначити струм насичення при UЗ = 4В; б) вивести рівняння для вихідної характеристики, що описує залежність струму витоку від напруги на стоці, якщо витік і підкладка заземлені, а затвор з'єднаний зі стоком. Вважати, що Uпор=const; в) зобразити отриману характеристику графічно за вихідними даними і результатом, отриманим у п. а); г) визначити опір R = l / S при UЗ-
-Uпор=1В; д) повторити п, г) для випадку b / l =1.
А.4.3.21 а) МОН-транзистор з каналом р-типу має товщину оксидного
шару =100нм і концентрацію домішок у підкладці |
= 1015см-3. Знайти |
||
порогову напругу, якщо |
= -0,6В; |
= 5 1011 |
= 8 10-8Кл/см2;. б) |
щоб знизити порогову напругу в транзисторі, розглянутому в п. а), використана іонна імплантація атомів бору. Яка повинна бути концентрація цих атомів, щоб порогова напруга стала дорівнювати -1,5В?
А.4.3.22 МОН-транзистор з каналом п-типу працює в режимі збіднення. Між витоком і землею увімкнуте джерело постійної напруги +5В. Ві-
домо, що b = 200 мкм; l = 10 мкм;
= 0,1 мкм; Uпор = -1B; UЗ = 0;
= 4;
= 600 см2В-1с-1. Визначити струм витоку.
А.4.3.23 Виготовлений МОН-транзистор з каналом п-типу, який працює в режимі збагачення і має такі параметри: b = 100 мкм; l = 10 мкм;
=0,1 мкм; Uпор = +1B;
= 450 см2В-1с-1. Знайти значення величини
Іс нас і Sнас, якщоUЗ – UС = +5 В, а підкладка та витік заземлені.
А.4.3.24 Виводи електронів польового транзистора позначені А, В, С. Опір між виводами В і С з обірваним виводом А дорівнює 300 Ом і не залежить від полярності прикладеної напруги. При напрузі -2В, прикладеній до А і В, тече струм 10-11А. Який електрод з'єднаний із затвором? Якого типу канал має цей транзистор?
А.4.3.25 Питома провідність каналу п-типу польового транзистора 
= =20,9 См/м, а його ширина b = 6 мкм при UЗВ = 0. Знайти напругу відсічки
192
Uвідс. Врахувати, що рухливість електронів |
= 0,13м2В-1с-1, а відносна |
|||
діелектрична проникність кремнію ε =12 . |
|
|
|
|
А.4.3.26 |
При UЗВ = 0 опір стік-витік польового транзистора RCB = |
|||
=50 Ом. Визначити напругу Uзв, при якій RCB |
= 200 Ом, якщо напруга |
|||
відсічки Uвідс = 6,8 В. Вважати, що польовий транзистор з керуючим р-п |
||||
переходом працює при низькій напрузі стік-витік. |
|
|
|
|
А.4.3.27 Питомий опір каналу р-типу |
= 0,1 Ом·м у польового |
|||
транзистора і керуючим р-п переходом, а його ширина b = 6 мкм при UЗВ |
= |
|||
0. Визначити напругу відсічки, якщо рухливість дірок |
= 0,05 м2В-1с-1 |
і |
||
відносна діелектрична проникність кремнію ε =12 .
А.4.3.28 Питомий опір каналу р-типу польового транзистора з керуючим р-п переходом 
=0,1 Ом м, а половина ширини каналу а = 3 мкм при
UЗВ = 0. Визначити половину ширини каналу, якщо UЗВ = Uвідс/2 і струм стоку дорівнює нулю.
А.4.3.29 Крутизна польового транзистора S=1мА/В в області насичення при напрузі UЗВ = -0,7В і UСВ =10В з каналом п-типу і керуючим р-п переходом. Визначити крутизну транзистора при UЗВ = -1В і UСВ =10В, якщо напруга відсічки транзистора Uвідс = +3В.
А.4.3.30 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом Іс max = 1мА; Uвідс = 4В. Визначити струм при зворотній напрузі UЗВ = 2В.
А.4.3.31 Визначити крутизну і максимальну крутизну польового транзистора з керуючим р-п переходом при UЗВ = 2В, коли Іс max = 1мА; Uвідс = 4В.
А.4.3.32 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом має Іс max = = 2мА; Uвідс = 5В. Визначити струм стоку Іс транзистора при напругах затвора: -5В; 0; -2,5В.
А.4.3.33 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом має
Іс max = 2мА; Uвідс = 5В. Визначити крутизну S транзистора при напругах за-
твора: -5В; 0; -2,5В.
А.4.3.34 У МДН-транзисторі з каналом п-типу ширина затвора b = = 0,8мм, довжина каналу l = 5 мкм, товщина підзатворного ізолятора
=150 нм, рухливість електронів у каналі |
= |
0,2 м2В-1с-1, відносна |
діелектрична проникність оксидної плівки ε = 3, 7 , |
напруга стік-витік при |
|
насиченні Uсв.н = 8 В. Визначити крутизну в області насичення.
А.4.3.35 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом і каналом п-
типу має Іс = 2мА при UЗ = 0В і напругу відсічки Uвідс = 5В. Визначити струм Іс при UЗ = -5В і UЗ = -2,5В.
А.4.3.36 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом і каналом п-
типу має Іс = 2мА при UЗ = 0В і напругу відсічки Uвідс = 5В. Визначити крутизну стоко-затворної характеристики при напрузі на затворі -5В; -2,5В і 0.
А.4.3.37 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом і каналом п- типу має параметри:
= 1017 см-3 і
= 1014 см-3; половина ширини каналу
193
а= 0,5 мкм, а його довжина l= 20 мкм і ширина b=100мкм; рухливість
електронів
= 1000 см2В-1с-1. Визначити: U0, Uвідс.
А.4.3.38 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом і каналом п- типу має параметри:
= 1017 см-3 і
= 1014 см-3; половина товщини каналу
а= 0,5 мкм, а його довжина l = 20 мкм і ширина b=100мкм; рухливість електронів
= 1000 см2В-1с-1. Визначити: R0, S і Sнас. Положити, що UЗ =
Uвідс/2 і UС = –Uвідс/4.
А.4.3.39 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом і каналом п- типу має параметри:
= 1019 см-3 і
= 1016 см-3; половина товщини каналу а = 1мкм, а його довжина l = 20 мкм і ширина b=100мкм; рухливість носіїв
= 1350 см2В-1с-1. Визначити: напругу відсічки і струм насичення стоку
приUЗ = 0.
А.4.3.40 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом і каналом р-
типу має такі параметри: |
= = 2 1014 см-3; половина товщини каналу а = |
|
=5мкм; b / l = 25 ; |
=12,5 |
см2/см. Визначити: напругу затвору, при якій |
канал зникає незалежно від величини напруги Uc.
А.4.3.41 У польового транзистора з параметрами, вказаними в задачі А.4.3.40, визначити напругу відсічки при UЗ = 5В.
А.4.3.42 Польовий транзистор має параметри, що і в задачі А.4.3.40. Визначити ефективну товщину каналу при 2aеф, при UС = 0 і UЗ = 5В.
А.4.3.43 При таких же параметрах польового транзистора, як в задачі А.4.3.40 і режимі, як в задачі А.4.3.42, знайти опір каналу.
А.4.3.44 Польовий транзистор з керуючим р-п переходом має Іс max = = 1мА і Sс max = 1мА/В і увімкнений у підсилювальний каскад за схемою з загальним витоком. Опір резистора навантаження Rн=10 кОм. Визначити коефіцієнт підсилення за напругою, якщо а) UЗВ = -1В; б) UЗВ = -0,5В;
в) UЗВ = 0В.
А.4.3.45 Польовий МОН-транзистор з каналом р-типу і алюмінієвим затвором має такі параметри:
=100 нм;
=2 1015 см-3;
= 1011e =
= 1,6 10-8 Кл/см2; l = 10 мкм; b=50 мкм;
= 230 см2В-1с-1: а) знайти струм
Іс нас при UЗ = -4В і -8В. Дати зображення вольт-амперної характеристики Ic = f (Uc ). б) визначити питому ємність С0 і граничну частоту 
=
, якщо UЗ – Uпор = 1В. Повторити розрахунок, коли l =
5мкм; b=10мкм. Відомо, що
= 3,2В;
= UF +3,8;
= 3,2- (3,8+ UF).
А.4.3.46 Відомо, що в тих випадках, коли напруга Uc перевищує декілька десятих вольта, потенціал вздовж каналу польовою транзистора з керуючим р-п-переходом розподілений за нелінійним законом: а) вивести
вираз для розрахунку потенціалу 0 ≤U (y)≤Uc в різних точках каналу, вводячи безрозмірну величину y = x / l ; б) вважати, що UЗ = 0; UС = 5В; U0 = = 1В; Uвідс = -8В; знайти значення параметра x/l, при яких U(x) = 1,2,3 і 4В.
194