83.Souto R.M., Alanyali H. Electrochemical characteristics of steel coated with TiN and TiAlN coatings // Corros. Sci. 2000. Vol. 42, № 12. P. 2201–2211.
84.An electrochemical impedance spectroscopy study of the corrosion behaviour of PVD coated steels in 0.5 N NaCl aqueous solution: Part I. Establishment of equivalent circuits for EIS data modelling / C. Liu, Q. Bi, A. Leyland, A. Matthews // Corros. Sci. 2003. Vol. 45. P. 1243–1256.
85.An electrochemical impedance spectroscopy study of the corrosion behaviour of PVD coated steels in 0.5 N NaCl aqueous solution: Part II. EIS interpretation of corrosion behaviour / C. Liu, Q. Bi, A. Leyland, A. Matthews // Corros. Sci. 2003. Vol. 45. P. 1257–1273.
86.Electrochemical behavior of single layer CrN, TiN, TiAlN coatings and nanolayered TiAlN/CrN multilayer coatings prepared by reactive direct current magnetron sputtering / V.K.W. Grips, H.C. Barshilia, V.E. Selvi [et al.] // Thin Solid Films. 2006. Vol. 514, № 1–2. Р. 204–211.
87.Каменева А.Л., Кичигин В.И., Сошина Т.О. Коррозионная стой-
кость покрытий на основе Ti1–хAlхN в растворе хлорида натрия // Коррозия: материалы, защита. 2014. № 10. С. 34–40.
88.Evaluation of corrosion performance of coated steel by the impedance technique / N. Pebere, Th. Picaud, M. Duprat, F. Dabosi // Corros. Sci. 1989. Vol. 29, № 9. Р. 1073–1086.
89.Kendig M.W., Scully J. Basic aspects of electrochemical impedance application for the life prediction of organic coatings on metals // Corrosion. 1990. Vol. 46, № 1. Р. 22–29.
90.Hu J.M., Zhang J.Q., Cao C.N. Determination of water uptake and diffusion of Cl– ion in epoxy primer on aluminium alloys in NaCl solution by electrochemical impedance spectroscopy // Progr. Org. Coat. 2003. Vol. 46. P. 273–279.
91.Chen J.G. Carbide and nitride overlayers on early transition metal surfaces: preparation, characterization, and reactivities // Chem. Rev. 1996. Vol. 96, № 4. Р. 1477–1498.
92.Perillo P.M. Corrosion behaviour of titanium nitride coating on titanium and zircaloy-4 // Amer. J. Mater. Sci. Appl. 2015. Vol. 3. P. 18–25.
93.Lasia A. Electrochemical Impedance Spectroscopy and its Applications. New York: Springer, 2014. 367 p.
94.Raistrick I.D. Impedance studies of porous electrodes // Electrochim. Acta. 1990. Vol. 35, № 10. Р. 1579–1586.
95.Structural and corrosion behaviour of stoichiometric and substoichiometric TiN thin films / L.A. Rocha, E. Ariza, J. Ferreira [et al.] // Surf. Coat. Technol. 2004. Vol. 180–181. P. 158–163.
156
96.Атеф Эль-Сайед Махмуд. Разработка ускоренных электрохимических методов коррозионного контроля и способов защиты от коррозии оборудования в нефтегазовой промышленности: авт. дис.... канд. техн. наук / РХТУ им. Д.И. Менделеева. М., 2008. 18 с.
97.Milošev I., Strehblow H.-H., Navinšek B. Oxidation of ternary TiZrN hard coatings studied by XPS // Surface and Interface Analysis. 1998. Vol. 26, № 4. Р. 242–248.
98.Каменева А.Л. Износостойкое и коррозионно-стойкое покрытие на основе TiC-(Ti,Zr)N-TiC для повышения стойкости режущего инстру-
мента в горнодобывающей промышленности // Народное хозяйство Республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т. Воркута, 2011.
Т. 20, № 1. С. 93–97.
157
Приложение 1
ОПТИМАЛЬНЫЕТЕХНОЛОГИИПОДГОТОВКИПОВЕРХНОСТИ ТИ, ПТИТЕСТОВЫХОБРАЗЦОВПЕРЕДОСАЖДЕНИЕМ МНОГОСЛОЙНЫХПЛЕНОК
Требуемое оборудование и расходные материалы на этапе механической обработки поверхности ТИ, ПТ и тестовых образцов перед осаждением МП:
–наждачные шкурки (разной зернистости);
–алмазная паста с разным содержанием алмазных порошков АСМ или АМ;
–ткань для полировки: фетр, бархат, тонкое сукно;
–протирочная ткань: бязь;
–перчатки х/б ГОСТ 1108–84;
–халат х/б ГОСТ 11622–73;
–часы;
–оптический микроскоп или микротвердомер ПМТ-3, оснащенный оптической системой;
–рабочий журнал.
Требуемое оборудование и расходные материалы на этапе химической очистки поверхности ТИ, ПТ и тестовых образцов перед осаждением МП:
–органические растворители:
–ацетон ч.д.а. ГОСТ 2603–79;
–бензин марки «Нефрас» С-50/170 ГОСТ 8505–80 или марки «Кало-
ша» ГОСТ 443–76, «Б-70» ГОСТ 1012–72;
–спирт этиловый ректификованный технический ГОСТ 9805–76;
–салфетки из отбеленной бязи ГОСТ 11680–76;
–перчатки х/б ГОСТ 1108–84;
–халат х/б ГОСТ 11622–73;
–часы;
–оптический микроскоп или микротвердомер ПМТ-3, оснащенный оптической системой;
–чистая металлическая закрывающаяся тара;
–рабочий журнал.
158
Требуемое оборудование и расходные материалы на этапе ультразвуковой очистки поверхности ТИ, ПТ и тестовых образцов перед осаждением МП:
– ультразвуковая установка «Кристалл-50» – для крупных ТИ и ПТ
иУЗУ-0,25 – для мелких ТИ и ПТ;
–пинцет медицинский ГОСТ 21241–71;
–щетка зубная ГОСТ 6388–74;
–перчатки х/б ГОСТ 1108–84;
–перчатки хирургические резиновые ГОСТ 3–75;
–салфетки из отбеленной бязи ГОСТ 11680–76;
–халат х/б ГОСТ 11622–73;
–бензин «Калоша» ГОСТ 443–76, «Б-70» ГОСТ 1012–72 или «Нефрас» С-50/170 ГОСТ 8505–80;
–ацетон ч.д.а. ГОСТ 2603–79;
–спирт этиловый ректификованный технический ГОСТ 9805–76;
–щелочной раствор;
–оптический микроскоп или микротвердомер ПМТ-3, оснащенный оптической системой;
–чистая металлическая закрывающаяся тара;
–часы;
–рабочий журнал.
Требуемое оборудование и расходные материалы на этапе очистки в тлеющем, магнетронном разрядах или ионной очистки поверхности ТИ, ПТ и тестовых образцов перед осаждением МП в вакуумной камере:
–вакуумная установка. Тип установки зависит от метода осаждения слоя пленки (приведены в табл. 2.1);
–аргон газообразный особой чистоты ГОСТ 10157–79;
–азот особой чистоты газообразный ГОСТ 9293–74;
–оптический микроскоп или микротвердомер ПМТ-3, оснащенный оптической системой;
–инфракрасный бесконтактный пирометр «Термикс»;
–часы;
–рабочий журнал.
1. Подготовка вакуумной установки к работе
1.1. Снять защитное стекло смотрового окна и удалить с его поверхности пленку, образовавшуюся после предыдущего технологического процесса. После механической обработки стекло протереть нефрасом, ацетоном и перед установкой в смотровое окно – бязью, смоченной в спирте.
159
1.2.Очистить вакуумную камеру и оснастку от пленки, образовавшуюся после предыдущего технологического процесса, и пропылесосить при полном отключении установки от питающей электрической сети.
Примечание. При обработке инструмента с вращением вокруг собственной оси, оправки, вставленные в гнезда стола, должны быть выполнены с минимальной площадью контакта (с максимальным тепловым сопротивлением для уменьшения теплопередачи от инструмента и оправок к столу). Для мелкоразмерного инструмента использовать бронзовую оснастку.
1.3.Проверить исправность системы водоохлаждения, визуально определив проток воды во всех линиях водоохлаждения.
1.4.Открыть баллоны с газами и установить редукторами необходимые расходы газов.
2. Этапы предварительной подготовки поверхности ТИ, ПТ
итестовых образцов
2.1.Этапы механической обработки поверхности ТИ, ПТ и тестового образца
2.1.1.Отшлифовать вручную поверхность ТИ, ПТ и тестового образца наждачными шкурками. Наждачную бумагу необходимо положить на плоскую поверхность (например, на стекло), соблюдать последовательность
иплавность перехода от грубозернистых к мелкозернистым шкуркам. Окончательный результат – идеально плоская поверхность тестового образца. После шлифования остатки абразива смыть водой.
2.1.2.Отполировать поверхность ТИ, ПТ и тестового образца для удаления мелких рисок. Нанести на ткань алмазную пасту и полировать поверхность тестового образца до тех пор, пока она не приобретет зеркальный блеск.
Примечание. Режущую поверхность ТИ и рабочую поверхность ПТ, обработанную в заводских условиях, не трогать. При необходимости локальной обработке подвергаются поверхности ТИ и ПТ, примыкающие
ких режущей и рабочей поверхностям.
2.1.3.Произвести контроль качества поверхности ТИ, ПТ и тестового образца. Контроль производится с помощью оптического микроскопа или микротвердомера ПМТ-3, оснащенного оптической системой.
Примечание. Перед тем как производить контроль качества, поверхности ТИ, ПТ и тестового образца протереть этиловым спиртом и просушить безворсовой бязью.
160