КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ
1.Каковы особенности строения поликристаллических пленок?
2.В чем заключаются особенности получения ионно-плазменных поликристаллических пленок?
3.Как технологическо-эксплуатационная наследственность процесса изготовления технологического инструмента и пар трения влияет на процесс структурообразования ионно-плазменных поликристаллических пленок?
4.Как технологическо-эксплуатационная наследственность процессов испарения/распыления катодов/мишеней влияет на процесс структурообразования ионно-плазменных поликристаллических пленок?
5.Перечислите технологические и температурные параметры протекания ионно-плазменныхпроцессовформированияполикристаллическихпленок.
6.Как технологические и температурные параметры ионно-плазмен- ных процессов влияют на структуру поликристаллических пленок?
7.Перечислите стадии формирования поликристаллических пленок.
8.Как технологические и температурные параметры ионно-плазмен- ных процессов влияют на стадии их формирования?
9.Как технологические и температурные параметры ионно-плазмен- ных процессов влияют на состав поликристаллических пленок?
10.Как технологические и температурные параметры ионно-плаз- менных процессов влияют на свойства поликристаллических пленок?
11.Перечислите виды дефектов поликристаллических пленок.
12.Перечислите причины дефектообразования в поликристаллических пленках.
13.Как по изменению технологических и температурных параметров можно спрогнозировать структуру ионно-плазменных поликристаллических пленок?
14.Опишите модель Мовчана–Демчишина. Ее применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Ее преимущества
инедостатки?
15.Опишите модель Торнтона. Ее применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Ее преимущества и недостатки?
16.Опишите модель Белянина. Ее применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Ее преимущества и недостатки?
17.Опишите модели Гроновера и Фортуны. Их применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Их преимущества
инедостатки?
146
18.Опишите модели Белянина и Инфортуны. Их применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Их преимущества и недостатки?
19.Опишите модели Мессиера и Петрова. Их применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Их преимущества
инедостатки?
20.Опишите модели Эйзнера, Барна и Адамика. Их применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Их преимущества и недостатки?
21.Опишите модель Томпсона. Ее применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Ее преимущества и недостатки?
22.Опишите модели Мисжака и Андерса. Их применение для прогнозирования структуры поликристаллических пленок? Их преимущества
инедостатки?
23.Какие существуют способы управления структурой ионноплазменных пленок?
24.Перечислите технические характеристики вакуумной установки полученияполикристаллическихпленокметодомэлектродуговогоиспарения.
25.Перечислите технические характеристики вакуумной установки полученияполикристаллическихпленокметодоммагнетронногораспыления.
26.Как температура двухкомпонентных покрытий зависит от технологических параметров процесса их осаждения, типа и количества источников плазмы?
27.Какие свойства поликристаллических пленок относятся к их эксплуатационным характеристикам?
28.Как процесс структурообразования двухкомпонентных TiN покрытий методом электродугового испарения зависит от тока дуги?
29.Как процесс структурообразования двухкомпонентных TiN покрытий методом электродугового испарения зависит от напряжения смещения на подложке?
30.Как процесс структурообразования двухкомпонентных TiN покрытийметодомэлектродуговогоиспарениязависитотдавлениягазовойсмеси?
31.Как процесс структурообразования двухкомпонентных TiN покрытий методом электродугового испарения зависит от содержания азота
вгазовой смеси?
32.Как процесс структурообразования двухкомпонентных TiN покрытий методом электродугового испарения зависит от расстояния катод– подложка?
33.Как формирование текстуры отражается на рентгенограмме?
147
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1.Панфилов Ю.В. Нанесение тонких пленок в вакууме // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3. С. 76–80.
2.Francis F. Chen. Industrial applications of low – temperatures plasma physics // Phys. Plasmas. 1995. Vol. 2, nо. 6. P. 2164–2175.
3.Плазменные ускорители / под общ. ред. Л.А. Арцимовича. М.: Машиностроение, 1973. 95 с.
4.Пленки ALN, ZrN, TiZrN: технологические особенности формирования / А.Л. Каменева, Д.В. Александров, А.Ф. Белянин, В.Д. Житковский, М.И. Самойлович // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы II межрег. сем. Калуга, 2004. С. 232–249.
5.Структурные и морфологические особенности упрочняющих покрытий, получаемых методами магнетронного распыления и вакуумного испарения / А.Л. Каменева, Д.В. Александров, А.Ф. Белянин, В.Д. Житковский, М.И. Самойлович // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы II межрег. сем. Калуга, 2004. С. 126–168.
6.Использование термозащитных покрытий на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Тонкие пленки в электронике: мате-
риалы XVI междунар. симп. М., 2004. С. 348–354.
7.Пленки AlN как защитное покрытие измерительных датчиков / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Тонкие пленки в электронике: материалы XVI междунар.
симп. М., 2004. С. 357–359.
8.Многослойные защитные покрытия термопечатающих матриц на основе AlN / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы междунар. науч.-практ. конф. INTERMATIC– 2004 / МГИРЭА (ТУ). М., 2004. С. 31–34.
9.Пленочные покрытия на основе AlN для измерительных датчиков / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, Д.В. Александров, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы междунар. науч.-практ. конф. INTERMATIC−2004 /
МГИРЭА (ТУ). М., 2004. С. 35–37.
10.Панфилов Ю.В. Электронные технологии и вакуумное технологическое оборудование – основа нанотехнологии // Высокие технологии
148
в промышленности России: матералы XI междунар. науч.-техн. конф.
М., 2003. C. 124−130.
11.Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Модернизация
иавтоматизация промышленного вакуумного оборудования для получения многофункциональных покрытий // Технология металлов. 2010. № 9.
С. 39–43.
12.Corrosion resistance of the biocompatible nitride and carbide thin films / C.M. Cotrut, A. Vladescu, I. Antoniac, A. Kiss, R. Zamfir, C.N. Zoita, M. Braic, V. Braic // European Cells and Materials. 2007. Vol. 13. Suppl. 3. Р. 1473–2262. URL: http: //www.ecmjournal.org/journal/supplements/vol013 supp03/pdf/vol013supp03a34.
13.Каменева А.Л., Клочков А.Ю. Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами: моногр. Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. 81 с.
14.Методики изучения трибологических характеристик пленок / А.Л. Каменева, Д.М. Караваев, А.В. Пепелышев, Н.В. Пименова // Техно-
логия металлов. 2012. № 2. С. 34–37; № 3. С. 48–52.
15.Разработка процессов получения наноструктурированных ион- но-плазменных пленок с заданными свойствами / А.М. Ханов, А.Л. Каменева, А.Ю. Клочков, Р.С. Новиков // Науч.-иссл. и опытно-констр. работы (НИОКР) / Перм. науч. центр Урал. отд-ния РАН, Администрация Перм. края, Совет ректоров вузов Перм. края. Пермь, 2010. С. 34–35.
16.Разработка и оптимизация технологий получения упрочняющих и защитных покрытий: отчет о НИОКР: в 4 ч. / М-во пром. и природ. ресурсов Перм. края; Перм. гос. техн. ун-т; рук. Анциферов В.Н.; исполн. 1-й части: Ханов А.М., Каменева А.Л., Сушенцов Н.И.; исполн. 2, 3, 4-й частей: Ханов А.М., Каменева А.Л. Пермь, 2006.
17.Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, Н.А. Азаренков, В.И. Фареник,
Г.В. Кирик // ФИП. 2007. Т. 5, № 1–2. С. 4–27.
18.Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой //
ФИП. 2007. Т. 5, № 1–2. С. 94–97.
19.Mayrhofer P.H., Mitterer C., Musil J. Structure property relationships in singleand dual-phase nanocrystalline hard coatings // Surface and Coatings Technology. 2003. Vol. 174–175. Р. 725–731.
20.Manory R.R., Kimmel G. X-ray characterization of TiNх films with CaF2-type structure // Thin Solid Films. 1987. Vol. 150. Р. 277–282.
149
21.Шулаев В.М. Новые результаты исследований причин прироста твердости в наноструктурных покрытиях нестехиометрического кубического нитрида титана // Вестник ХНАДУ. 2010. Вып. 51. С. 130–134.
22.Каменева А.Л., Гусельникова Л.Н. Способы улучшения поверхностных свойств упрочняемых изделий путем стабилизации структуры
исвойств осаждаемых ионно-плазменных пленок // Народное хозяйство республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т, филиал С.-Петерб. гос. горн. ин-та им. Г.В. Плеханова (техн. ун-та). Воркута, 2011. Т. 20, № 1. С. 98–102.
23.Каменева А.Л. Роль структуры и фазового состава в формировании физико-механических и трибологических свойств пленок на основе TiN // Вопросы материаловедения. 2012. № 1 (69). С. 58–67.
24.Каменева А.Л. Влияние структуры и фазового состава ионно-плаз- менных поликристалических пленок, формируемых методом магнетронного распыления, на их трибологические, физико-механические и коррозионные свойства // Вестник РГУПС. 2012. № 1. С. 15–22.
25.Влияние покрытий TiN на коррозионное поведение сплава ВК8 / И.И. Замалетдинов, В.И. Кичигин, А.Л. Каменева, А.Ю. Клочков // Коррозия: материалы, защита. 2011. № 6. С. 32–38.
26.Наноструктурированные износостойкие многокомпонентные тонкопленочные покрытия / Ю.В. Панфилов, А.И. Беликов, И.В. Гладышев, А.Л. Каменева, Д.Ю. Демин, Ф.В. Кирюханцев-Корнеев, Л.А. Трофимова, А.П. Оборин, П.А. Ужегов, Е.М. Трофимов // Упрочняющие технологии и покрытия. 2005. № 4. С. 30–34.
27.Каменева А.Л., Караваев Д.М., Сошина Т.О. Улучшение износостойких и антифрикционных свойств пленок на основе TiN путем оптимизации технологии их формирования методом магнетронного распыления // Упрочняющие технологии и покрытия. 2012. № 3. С. 34–38.
28.Экспериментальное изучение свойств упрочняющих тонкопленочных покрытий на основе различных нитридов / А.Л. Каменева, Л.А. Трофимова, А.П. Оборин, П.А. Ужегов, Д.Ю. Демин, Е.М. Трофимов // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион. конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2005. С. 67–71.
29.Пути улучшения эксплуатационных свойств функциональных тонкопленочных покрытий за счет изменения условий формирования покрытий ионно-плазменными методами / А.Л. Каменева, Е.А. Шестаков, С.М. Вдовин, Е.М. Трофимов // Молодежная наука Верхнекамья: материалы третьей регион. конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2006. C. 62–66.
150