Материал: Изучение функциональных свойств многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами
из дополнительной во вторую основную фазу, увеличением деформации КР и значительным уменьшением Т.
На основе корреляционной связи между ТехП и ТемП процесса МР и ЭДИ, структурой, направлением преимущественного кристаллографического ориентирования, фазовым составом, ФМС и трибологическими свойствами МП на основе TiN (ZrN) слоев возможно разработать технологические процессы получения многофункциональных пленок различного практического применения с градиентом структуры и свойств.
Трибологические свойства многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN (ZrN) слоев зависят от твердости композиции пленка – подложка. Высокие значения трибологических свойств, Нμк и НМ115 соответст-
вуют оптимальным сочетаниям ТехП и ТемП (табл. 3.5–3.8, рис. 3.5–3.8). Существует неоднозначная зависимость ИАС и изнашивающей спо-
собности TiN (ZrN) слоев по отношению к контртелу от микротвердости композиции слой – подложка Нμк . С повышением Нμк улучшаются ИАС
слоев и МП, уменьшается их изнашивающая способность по отношению к контртелу (справедлива и обратная зависимость). Однако при постоянстве Нμк возможно ухудшение свойств TiN (ZrN) слоев. Исследования, ре-
зультаты которых представлены в главе 3, позволяют выявить причины данного исключения: изменение подструктуры слоев пленок со столбчатой до глобальной и ухудшение шероховатости поверхности в связи с формированием на поверхности слоев пленок 3D и стержневых образований с зернистой подструктурой, дефектообразование, увеличение объемной доли в TiN (ZrN) слоях гексагональной фазы TiN0.3 (ZrN0.28) и напряжений КР при отклонении ТехП от оптимальных значений.
Многослойные пленки на основе наноструктурированных TiN (ZrN) слоев, сформированных при оптимальном сочетании ТехП, обладают высокими механическими свойствами, уникальным комплексом ИАС и минимальнойизнашивающейспособностьюпоотношениюкконтртелу(табл. 3.9).
Коррозионные свойства многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN (ZrN) слоев также зависят от ТехП электродугового испарения и магнетронного распыления. Эффективность по снижению плотности тока коррозии (iкор) и тока в пассивном состоянии (iпас) твердого сплава ВК8 многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN (ZrN) слоев, полученных методом ЭДИ и МР при различном Р (0,8; 1,0; 1,2 Па), определяется на основании результатов выборочных коррозионных испытаний
(табл. 3.10, рис. 3.9).
46
Таблица 3 . 5 Твердость композиции двухкомпонентнаяTiN (ZrN) многослойная пленка – подложка (магнетронное распыление)
ТехП |
|
Материал |
Толщинаслоя |
|
Hμк , ГПа |
|
Hμк , ГПа |
НМ115, ГПа |
|||||
|
пленки(δ), мкм |
(НаноСкан) |
|
(ПМТ-3) |
(SHIMADZU HMV-2000) |
||||||||
|
подложки |
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
TiN |
ZrN |
TiN |
|
ZrN |
TiN |
ZrN |
TiN |
ZrN |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,8 |
Ст3; ВК8 |
2,7 |
2,7 |
3,5 |
|
3,4 |
9,5; 14,0 |
13,0 |
0,1 |
0,3 |
|
Р, Па |
|
1,01 |
Ст3; ВК8 |
3,1 |
2,8 |
7,7 |
|
7,1 |
18,0; |
24,0 |
18,0 |
0,6 |
0,7 |
|
1,2 |
Ст3; ВК8 |
3,2 |
3,0 |
4,2 |
|
3,5 |
14,20; 19,6 |
16,0 |
0,4 |
0,5 |
||
|
|
|
|||||||||||
|
|
1,4 |
Ст3; ВК8 |
3,4 |
3,2 |
3,4 |
|
3,1 |
11,4; |
16,7 |
14,0 |
0,3 |
0,4 |
N, кВт |
|
1,70 |
Ст3; ВК8 |
1,9 |
1,8 |
2,7 |
|
2,3 |
12,37; 14,0 |
12,0 |
0,4 |
0,5 |
|
|
2,42 |
Ст3; ВК8 |
3,0 |
3,5 |
7,7 |
|
6,5 |
18,0; |
24,0 |
17,0 |
0,6 |
0,7 |
|
|
|
3,00 |
Ст3; ВК8 |
3,3 |
4,1 |
6,3 |
|
5,9 |
16,7; |
19,6 |
16,0 |
0,4 |
0,5 |
Uсм, В |
|
40 |
Ст3; ВК8 |
1,5 |
2,5 |
3,2 |
|
2,9 |
10,7; |
16,7 |
15,0 |
0,5 |
0,5 |
|
60 |
Ст3; ВК8 |
2,0 |
2,6 |
4,1 |
|
3,9 |
13,3; |
18,0 |
16,0 |
0,5 |
0,6 |
|
|
|
|
|||||||||||
L, мм |
|
120 |
Ст3; ВК8 |
2,6 |
2,4 |
3,4 |
|
2,9 |
11,4; |
16,7 |
13,0 |
0,4 |
0,6 |
|
140 |
Ст3; ВК8 |
2,2 |
1,8 |
3,5 |
|
2,7 |
9,5; 14,0 |
12,0 |
0,3 |
0,4 |
||
|
|
160 |
Ст3; ВК8 |
1,9 |
1,5 |
3,0 |
|
2,6 |
7,2; 11,0 |
9,0 |
0,3 |
0,5 |
|
|
|
30 |
Ст3; ВК8 |
2,0 |
2,4 |
3,6 |
|
3,5 |
7,3; 11,0 |
8,0 |
0,4 |
0,5 |
|
N2, % |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
50 |
Ст3; ВК8 |
3,2 |
3,1 |
3,6 |
|
3,4 |
10,8; |
18,0 |
13,0 |
0,3 |
0,4 |
|
|
|
70 |
Ст3; ВК8 |
3,6 |
3,5 |
6,5 |
|
5,9 |
5,2; |
9,5 |
8,0 |
0,3 |
0,4 |
11,0 Па; 80 В; 100 мм; 35 % N2; 2,03 кВт – для TiN слоя; 2,09 кВт – для ZrN слоя.
47
48
Таблица 3 . 6 Твердость композиции двухкомпонентная TiN (ZrN) многослойная пленка – подложка (электродуговое испарение)
|
ТехП |
Материал |
|
δ, мкм |
Hμк |
, ГПа |
Hμк , ГПа |
НМ115, ГПа |
|||||
|
|
(НаноСкан) |
(ПМТ-3) |
(SHIMADZU HMV-2000) |
|||||||||
|
подложки |
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
TiN |
|
ZrN |
TiN |
|
ZrN |
TiN |
ZrN |
TiN |
ZrN |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,6 |
Ст3 |
3,5 |
|
4,0 |
8,6 |
|
3,8 |
18,0 |
18,0 |
0,7 |
0,8 |
|
|
0,8 |
Ст3 |
4,0 |
|
5,0 |
9,3 |
|
9,5 |
19,6 |
17,4 |
0,5 |
0,6 |
Р, Па |
|
1,01 |
Ст3 |
5,0 |
|
5,5 |
25,7 |
|
26,9 |
27,1 |
22,5 |
0,8 |
0,9 |
|
|
1,2 |
Ст3; ВК8 |
6,0 |
|
6,0 |
12,3; 21,94 |
|
7,4 |
15,36; 23,7 |
13,6 |
0,3 |
0,3 |
|
|
1,4 |
Ст3 |
7,0 |
|
6,5 |
19,3 |
|
8,2 |
21,6 |
16,7 |
0,4 |
0,4 |
Iд, А |
|
90 |
Ст3 |
6,0 |
|
6,5 |
20,6 |
|
25,6 |
23,2 |
23,0 |
0,3 |
0,3 |
|
100 |
Ст3 |
7,0 |
|
7,5 |
19,7 |
|
23,7 |
23,2 |
20,7 |
0,3 |
0,3 |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
80 |
Ст3 |
3,0 |
|
3,5 |
3,8 |
|
3,9 |
21,0 |
18,0 |
0,8 |
0,9 |
Uсм, В |
|
100 |
Ст3 |
3,5 |
|
4,0 |
4,2 |
|
4,1 |
24,3 |
19,6 |
0,5 |
0,4 |
|
150 |
Ст3 |
4,0 |
|
5,0 |
3,8 |
|
3,4 |
25,7 |
21,6 |
0,4 |
0,4 |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
250 |
Ст3 |
6,0 |
|
6,0 |
3,8 |
|
3,1 |
23,2 |
12,4 |
0,3 |
0,4 |
|
|
400 |
Ст3 |
2,0 |
|
2,5 |
3,8 |
|
3,0 |
16,1 |
10,0 |
0,4 |
0,5 |
L, мм |
|
360 |
Ст3 |
3,0 |
|
3,0 |
3,5 |
|
3,2 |
18,0 |
11,4 |
0,4 |
0,5 |
|
330 |
Ст3 |
4,0 |
|
3,5 |
4,2 |
|
5,7 |
21,0 |
12,4 |
0,3 |
0,4 |
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
300 |
Ст3 |
4,5 |
|
4,0 |
18,7 |
|
15,4 |
25,4 |
14,2 |
0,3 |
0,5 |
|
|
30 |
Ст3 |
4,0 |
|
3,5 |
2,3 |
|
1,9 |
10,0 |
9,7 |
0,5 |
0,6 |
N2, % |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
50 |
Ст3 |
4,0 |
|
4,0 |
5,6 |
|
6,3 |
16,0 |
14,2 |
0,4 |
0,5 |
|
|
|
70 |
Ст3 |
4,5 |
|
5,0 |
18,9 |
|
19,6 |
21,0 |
18,0 |
0,3 |
0,4 |
1Р = 1,0 Па; L = 270 мм; Iд = 80 А; Uсм = 200 В; N2 = 90 %.
Таблица 3 . 7
Износостойкие и антифрикционные (ИАС) свойства многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN (ZrN) слоев, сформированных МР, и их изнашивающая способность по отношению к контртелу (в числителе – значения для TiN слоя, в знаменателе – для ZrN слоя)
|
ТехП |
Материал |
|
|
m, |
|
|
Iпm , |
|
|
IпV , |
|
|
IкV , |
|
dп, |
|
Vк, |
|
f |
|
Мтр, |
||||||||||||||
|
подложки |
·10–3 мг |
·10–5 мг·Н–1·м–1 |
·10–4 мм3·Н–1·м–1 |
·10–8 мм3·Н–1·м–1 |
|
мм |
·10–3 мм·с–1 |
|
|
Н·м |
|||||||||||||||||||||||||
|
1 |
2 |
3 |
4 |
|
|
5 |
|
|
6 |
|
|
7 |
|
|
8 |
|
9 |
|
10 |
|
11 |
|
|||||||||||||
|
|
0,8 |
Ст3; |
ВК8 |
|
10,5 |
|
|
12,00 |
|
8,62 |
|
|
7,93 |
|
|
0,98 |
1,32 |
|
0,12 |
0,14 |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
3,6 |
|
|
1,35 |
|
0,80 |
|
|
1,32 |
|
|
0,62 |
0,84 |
|
0,08 |
0,10 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
1,01 |
Ст3; |
ВК8 |
0,1 |
|
0,06 |
|
0,08 |
|
|
0,61 |
|
|
0,52 |
0,70 |
|
0,08 |
0,09 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
0,4 |
|
0,16 |
|
0,12 |
|
|
0,33 |
|
|
0,44 |
0,59 |
|
0,08 |
0,10 |
||||||||||||||||||||
|
Р, Па |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1,2 |
Ст3; |
ВК8 |
6,8 |
|
8,05 |
|
13,73 |
|
3,68 |
|
|
0,78 |
1,05 |
|
0,12 |
0,13 |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
5,6 |
|
2,13 |
|
0,20 |
|
|
1,29 |
|
|
0,68 |
0,92 |
|
0,10 |
0,12 |
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
1,4 |
Ст3; |
ВК8 |
9,1 |
|
10,87 |
|
0,70 |
|
|
6,58 |
|
|
0,87 |
1,18 |
|
0,13 |
0,15 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
8,7 |
|
3,56 |
|
16,78 |
|
8,45 |
|
|
0,92 |
2,14 |
|
0,12 |
0,13 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
1,70 |
Ст3; |
ВК8 |
9,2 |
|
10,46 |
|
0,81 |
|
|
6,55 |
|
|
0,93 |
1,26 |
|
0,07 |
0,08 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
14,6 |
|
12,03 |
|
14,56 |
|
3,56 |
|
|
0,75 |
1,15 |
|
0,09 |
0,11 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
1,6 |
|
1,83 |
|
0,08 |
|
|
4,04 |
|
|
0,83 |
1,12 |
|
0,06 |
0,08 |
|||||||||||||||||
|
N, кВт |
2,42 |
Ст3; |
ВК8 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
5,3 |
|
2,00 |
|
12,77 |
|
2,22 |
|
|
0,63 |
0,85 |
|
0,08 |
0,10 |
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
3,00 |
Ст3; |
ВК8 |
6,8 |
|
7,77 |
|
2,88 |
|
|
19,10 |
|
1,22 |
1,65 |
|
0,09 |
0,11 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
5,9 |
|
2,25 |
|
14,62 |
|
2,56 |
|
|
0,75 |
1,01 |
|
0,10 |
0,13 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
40 |
Ст3; |
ВК8 |
7,2 |
|
8,23 |
|
17,90 |
|
4,78 |
|
|
0,86 |
1,16 |
|
0,22 |
0,27 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
6,5 |
|
2,80 |
|
3,50 |
|
|
3,77 |
|
|
0,81 |
1,09 |
|
0,11 |
0,13 |
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
Uсм, В |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
60 |
Ст3; |
ВК8 |
6,0 |
|
3,31 |
|
15,80 |
|
5,23 |
|
|
0,88 |
1,19 |
|
0,11 |
0,13 |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
2,9 |
|
2,29 |
|
4,05 |
|
|
4,82 |
|
|
0,83 |
1,12 |
|
0,09 |
0,11 |
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
120 |
Ст3; |
ВК8 |
6,1 |
|
8,24 |
|
2,96 |
|
|
5,98 |
|
|
0,98 |
1,32 |
|
0,07 |
0,09 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
2,4 |
|
0,90 |
|
8,62 |
|
|
2,74 |
|
|
0,71 |
0,96 |
|
0,08 |
0,10 |
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
L, мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
140 |
Ст3; |
ВК8 |
7,5 |
|
9,36 |
|
3,15 |
|
|
6,87 |
|
|
1,15 |
1,55 |
|
0,08 |
0,11 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
49 |
|
5,3 |
|
2,02 |
|
13,60 |
|
4,49 |
|
|
0,81 |
1,09 |
|
0,08 |
0,10 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
50
Окончание табл. 3 . 7
1 |
2 |
3 |
4 |
|
|
5 |
|
|
6 |
|
|
7 |
|
|
8 |
|
9 |
|
10 |
|
11 |
|
|||||||||||||
|
160 |
Ст3; |
ВК8 |
8,4 |
|
12,30 |
|
4,95 |
|
|
0,56 |
|
|
0,39 |
0,53 |
|
0,09 |
0,10 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
7,6 |
|
2,90 |
|
18,50 |
|
1,00 |
|
|
0,58 |
0,78 |
|
0,24 |
0,30 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
30 |
Ст3; |
ВК8 |
|
35,4 |
|
|
40,46 |
|
|
26,78 |
|
12,70 |
|
0,97 |
1,31 |
|
0,25 |
0,31 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
11,9 |
|
|
4,53 |
|
|
18,90 |
|
|
7,78 |
|
|
0,53 |
0,72 |
|
0,12 |
0,14 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
Ст3; |
ВК8 |
5,4 |
|
6,11 |
|
11,20 |
|
7,45 |
|
|
0,96 |
1,30 |
|
0,10 |
0,12 |
||||||||||||||||||
N2, % |
40 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
4,6 |
|
1,75 |
|
2,15 |
|
|
0,90 |
|
|
0,48 |
0,65 |
|
0,08 |
0,10 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
50 |
Ст3; |
ВК8 |
7,2 |
|
8,27 |
|
1,25 |
|
|
18,20 |
|
1,21 |
1,64 |
|
0,11 |
0,14 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
5,7 |
|
2,15 |
|
14,40 |
|
1,26 |
|
|
0,61 |
0,82 |
|
0,10 |
0,12 |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
11,0 Па; 80 В; 100 мм; 35 % N2; 2,54 кВт – для TiN слоя; 2,09 кВт – для ZrN слоя.
Таблица 3 . 8
Износостойкие и антифрикционные свойства многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN (ZrN) слоев, сформированных ЭДИ, и их изнашивающая способность по отношению к контртелу (в числителе – значения для TiN слоя, в знаменателе – для ZrN слоя)
ТехП |
|
Материал |
|
|
m, |
|
|
Iпm , |
IпV , |
|
|
IкV , |
|
dп, |
|
VК, |
|
f |
|
Мтр, |
||||||||||
|
подложки |
·10–3 мг |
·10–5 мг·Н–1·м–1 |
·10–4 мм3·Н–1·м–1 |
·10–8 мм3·Н–1·м–1 |
|
мм |
·10–3 мм/с |
|
|
Н·м |
|||||||||||||||||||
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
11 |
|
|
2 |
3 |
4 |
|
|
5 |
|
|
6 |
7 |
|
|
8 |
|
9 |
|
10 |
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,22 |
|||||||||
|
|
0,6 |
Ст3 |
62,2 |
71,09 |
|
2,96 |
12,09 |
1,09 |
|
1,47 |
0,18 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
15,7 |
17,99 |
|
1,68 |
7,14 |
|
|
0,95 |
|
1,28 |
0,09 |
0,10 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
0,8 |
Ст3 |
12,0 |
13,71 |
|
1,40 |
4,52 |
|
|
0,85 |
|
1,15 |
0,12 |
0,14 |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
29,8 |
34,06 |
|
2,80 |
10,39 |
1,05 |
|
1,42 |
0,15 |
0,18 |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
Р, Па |
|
1,01 |
Ст3 |
2,9 |
|
|
3,54 |
|
0,08 |
0,18 |
|
|
0,38 |
|
0,51 |
0,08 |
0,10 |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
6,0 |
|
|
6,86 |
|
0,92 |
0,91 |
|
|
0,57 |
|
0,77 |
0,06 |
0,07 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
1,2 |
Ст3; ВК8 |
|
3,2 |
|
|
4,16 |
|
1,05 |
0,25 |
|
|
0,43 |
|
0,58 |
0,09 |
0,12 |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
11,8 |
13,43 |
|
2,18 |
8,06 |
|
|
0,98 |
|
1,32 |
0,10 |
0,12 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
1,4 |
Ст3 |
6,0 |
|
|
6,80 |
|
1,07 |
5,39 |
|
|
0,89 |
|
1,20 |
0,14 |
0,17 |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
13,5 |
15,43 |
|
2,53 |
8,30 |
|
|
0,99 |
|
1,34 |
0,10 |
0,12 |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||