5.Результаты обработки экспериментальных данных.
6.Выводы о проделанной работе.
Лабораторная работа № 3
ИССЛЕДОВАНИЕ ФУНКЦИИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ В ГАЗОВОМ РАЗРЯДЕ
Цель работы: ознакомление с экспериментальной методикой нахождения функции распределения электронов в общем случае, в том числе и для немаксвелловского распределения электронов по энергиям.
3.1. Основные сведения
Имеется ряд способов нахождения функции распределения электронов по энергиям (ФРЭ). В частности, если допустить, что ФРЭ – максвелловская, и снять зондовую характеристику, то электронная составляющая зондового тока будет определяться по следующей формуле:
|
|
|
|
|
|
eUз |
|
|
I |
з |
I |
з0 |
exp |
|
. |
||
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
kTe |
||
Прологарифмировав эту формулу, можно убедиться, что если ln Iз = f(Uз) – линейная функция, то ФРЭ близка к максвелловской. При этом имеется простая возможность определения Те и других параметров плазмы. Однако для немаксвелловской ФРЭ данная методика не подходит.
Информация о функции распределения электронов по энергиям необходима для расчета параметров плазмы электрических разрядов в приборах и устройствах плазменной электроники. Для определения этой функции теоретическим путем необходимо решить кинетическое уравнение Больцмана. Это уравнение является нелинейным интегрально-дифференциальным уравнением, решение которого в общем виде является довольно сложной задачей, в связи с исключительными трудностями математического характера. Известны решения лишь для некоторых частных случаев. Поэтому ФРЭ часто определяют экспериментально.
Разработано несколько методов экспериментального определения ФРЭ. В настоящей работе рассматривается зондовый метод определения вида ФРЭ
16
в том случае, когда она изотропна. Вид вольт-амперной характеристики зонда, помещенного в плазму, описывается выражением
|
2 ene |
|
E eU f E dE , |
|
|
jз |
|
(3.1) |
|||
m2 |
|||||
|
eU |
|
|||
|
|
|
|||
где jз – плотность тока электронов в цепи зонда при его потенциале относительно плазмы U; e и m – заряд и масса электрона; ne – концентрация плазмы; f(E) – ФРЭ; E – энергия электрона.
Двойное дифференцирование (3.1) по U приводит к выражению
d 2 j |
з |
|
2 e3n |
f eU . |
|
|
|
e |
(3.2) |
||
|
|
m2 |
|||
dU 2 |
|
|
|||
Из (3.2) следует, что ФРЭ пропорциональна второй производной плотности тока зонда по потенциалу. Это обстоятельство как раз и используется для определения вида ФРЭ с помощью электрических зондов.
Очевидным представляется, что вид ФРЭ можно определить двойным дифференцированием экспериментально полученной ВАХ зонда. Однако последующее дифференцирование экспериментальной зависимости графическим или численным методом приводит к большим погрешностям и поэтому малоценно.
Учитывая вышеизложенное, представляется целесообразным найти способ аппаратурного определения непосредственно второй производной.
Рассмотрим одну из возможностей непосредственного определения вида второй производной в ходе эксперимента.
Если цепь зонда запитать напряжением
Uз Uз Asin ( t) ,
где Uз= – постоянная составляющая напряжения в цепи зонда; А – амплитуда переменной составляющей; ω – частота; t – время, то разложение тока зонда в ряд Фурье будет иметь вид
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
d |
2 |
Ie з |
|
1 |
|
d |
4 |
Ie з |
|
|
||
I |
e з |
(U |
з |
Asin ( t)) I |
e |
|
A2 |
|
|
A4 |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
4 |
|
dU |
2 |
|
64 |
|
dU |
4 |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
dIe з |
|
1 |
|
d |
3 |
Ie з |
|
|
A |
|
A3 |
|
sin ( t) |
|||||
|
|
|
|
|
|||||
|
dU |
8 |
|
dU |
3 |
|
|||
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
17 |
|
|
|||
|
1 |
|
d |
2 |
Ie з |
|
1 |
|
d |
4 |
Ie з |
|
|
||
|
A2 |
|
|
A4 |
|
cos (2 t) . |
(3.3) |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
4 |
|
dU |
2 |
|
48 |
|
dU |
4 |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Анализ приведенного выражения показывает, что для определения второй производной зондового тока по потенциалу зонда можно использовать два подхода:
1)измерять приращение постоянной составляющей тока в цепи зонда после включения в цепь питания переменной составляющей напряжения малой амплитуды;
2)измерять амплитуду второй гармоники переменной составляющей тока в цепи зонда при изменении постоянной составляющей потенциала зонда.
Воспользуемся первым подходом.
В силу нелинейности вольт-амперной характеристики зонда в его цепи питания проявляется детекторный эффект, выражающийся в изменении постоянной составляющей тока после подключения источника переменного напряжения.
Из (3.3) следует, что постоянная составляющая тока в цепи зонда описывается выражением
Ie з (Uз Asin ( t)) Ie |
1 |
A2 |
d 2Ie з |
|
1 |
A4 |
d 4Ie з |
|
. (3.4) |
4 |
|
64 |
|
||||||
|
|
dU 2 |
|
dU 4 |
|
||||
Из (3.4) следует, что приращение постоянной составляющей зондового тока, обусловленное проявлением детекторного эффекта, будет определятся выражением
I |
e з |
|
1 |
A2 |
d 2Ie з |
|
1 |
A4 |
d 4Ie з |
. |
(3.5) |
|
|
|
|
||||||||
|
4 |
|
dU 2 64 |
|
dU 4 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|||||||
При выполнении условия А << Uз= в (3.5) всеми членами, кроме первого, можно пренебречь без потери точности, тогда получим:
I |
e з |
|
1 |
A2 |
d 2Ie з |
. |
(3.6) |
|
|
||||||
|
4 |
|
dU 2 |
|
|||
|
|
|
|
||||
Сопоставление (3.2) и (3.6) позволяет установить, что ФРЭ и приращение постоянной составляющей электронного тока в цепи зонда связаны зависимостью
18
|
2m2 |
|
f (eU ) |
|
Ie з B Ie з , |
|
||
|
A2e3n S |
|
|
e |
|
где S – площадь приемной поверхности зонда.
Описание экспериментальной установки. В лабораторной работе сту-
дентам предлагается определить ФРЭ в плазме положительного столба дугового несамостоятельного разряда с накаленным катодом в парах ртути.
Экспериментальный макет представляет собой цилиндрическую колбу, в которую с одной стороны запаян катодный узел, содержащий подогреватель, оксидный катод и управляющий электрод (сетку), а с другой – анод. В стенку макета впаяны металлические проволочные зонды. Схема присоединения источников электрического питания и измерительных приборов приведена на рис. 3.1. Напряжение питания разряда подается от регулируемого источника питания, работающего в режиме стабилизации тока, через балластный резистор. Напряжение на зонд подается от источника постоянного напряжения, отрицательный полюс которого подключен к катоду.
|
|
|
S1 |
|
|
|
|
|
|
|
≈ |
|
|
|
|
|
|
|
≈ 220В |
|
|
|
|
3 |
K |
A |
R |
|
S3 |
4 |
|
|
|
|
|||||
2 |
|
|
S2 |
7 |
|
Генератор |
|
1 |
|
|
|
|
|
переменной |
|
|
|
|
|
|
составляющей |
|
|
|
|
Тр |
|
8 |
|
Г3-33 |
|
|
|
I1 |
|
|
|
|
|
Блок |
+ |
5 |
|
|
|
Блок |
+ |
|
|
|
питания |
|
|||
питания |
|
|
|
|
|
|
|
|
C |
|
|
|
анода |
|
|
зонда |
|
V1 |
|
|
|
||
|
|
|
Б5-49 |
|
|||
Б5-44 |
|
|
|
|
|
– |
|
– |
6 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
Измеритель |
|
|
|
|
|
|
|
пост. сост. |
|
|
|
|
|
|
|
тока зонда |
|
|
|
|
|
|
|
В7 |
|
|
|
|
Рис. 3.1. Схема экспериментальной установки |
|
||||||
19
Переменная составляющая напряжения в цепь зонда подается через вторичную обмотку трансформатора. Его первичная обмотка является нагрузкой генератора синусоидальных колебаний с регулируемой частотой и амплитудой.
Значения токов разряда и напряжений, подаваемых на исследуемый макет, оговариваются с преподавателем.
Несамостоятельный дуговой разряд в макете возбуждается в парах ртути, давление которых (p) зависит от температуры (T) в лабораторном помещении и может быть определено из соотношения
lg p = 8.4525 – 3.3225/T.
В общем случае ФРЭ в положительном столбе может быть максвелловской и тогда описывается выражением
|
e |
3/ 2 |
|
|
|
|
eU |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
U exp |
|
|
|
, |
||||
|
|
|||||||||
f U 2 |
kT |
|
|
kT |
||||||
|
|
|
|
|
||||||
|
e |
|
|
|
|
e |
|
|||
а может иметь и другой вид.
3.2. Порядок выполнения работы
1.Ознакомиться с устройством экспериментальной установки.
2.Перед началом снятия ФРЭ необходимо определить параметры схемы питания цепи зонда. Порядок этой процедуры: включить накал макета, выждать 7 мин, включить анодное напряжение (блок Б5-49), установить анодный ток 200 мА, включить блоки питания цепи зонда переменным и постоянным токами и измеритель высокочастотного напряжения – милливольт-
метр В3-38 (Uз~).
3. При отсутствии переменного напряжения (S2 – выключен) определить «плавающий» потенциал стенки (Uст), для чего, меняя подаваемое на зонд постоянное напряжение, найти переход от ионного тока на зонд к электронному, что проявляется в смене знака тока. Точно этот переход можно определить с помощью амперметра, который включается при размыкании ключа К1. Первоначально предел по току установить 20 мА.
4. Найти рабочую частоту и амплитуду переменного сигнала генератора, нагруженного на плазму (ключ S2 замкнут), обеспечивающую стабильную работу генератора. Частоту менять от 200 до 2000 Гц, амплитуду А брать не более 2 В.
5. Исследовать влияние амплитуды переменного напряжения А на вели-
20