график вольт-амперной характеристики контакта в данном диапазоне температур.
Рассмотрим контакт металл–полупроводник. Если приповерхностная область полупроводника обеднена основными носителями, то в области контакта со стороны полупроводника формируется область пространственного заряда ионизованных доноров или акцепторов и реализуется блокирующий контакт, именуемый барьером Шоттки. В полупроводниковых приборах наибольшее применение получили блокирующие контакты металл– полупроводник, или барьеры Шоттки. Ток термоэлектронной эмиссии с поверхности любого твердого тела определяется уравнением Ричардсона:
jT = AT 2e − kT , |
|
|
π |
(6.1) |
||
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
4 |
em k |
|
||
где: Φ – работа выхода; А – константа Ричардсона, равная |
A = |
|
|
e |
|
; |
|
h3 |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
me – масса электрона.
Для контакта « металл–полупроводник n-типа» выберем условие, чтобы термодинамическая работа выхода из полупроводника Фп/п была меньше чем термодинамическая работа выхода из металла ФМе. В этом случае со-
гласно уравнению (6.1) ток термоэлектронной эмиссии с поверхности полупроводника jп/п будет больше, чем ток термоэлектронной эмиссии с поверх-
ности металла:
ΦМе > Φп/п ; jМе < jп/п .
При контакте таких материалов в начальный момент времени ток из полупроводника в металл будет превышать обратный ток из металла в полупроводник, и в приповерхностных областях полупроводника и металла будут накапливаться объемные заряды – отрицательные в металле и положительные в полупроводнике. В области контакта возникнет электрическое поле, в результате чего произойдет изгиб энергетических зон. Вследствие эффекта поля термодинамическая работа выхода на поверхности полупроводника возрастет. Этот процесс будет проходить до тех пор, пока в области контакта не выровняются токи термоэлектронной эмиссии и соответственно значения термодинамических работ выхода на поверхности. На рис. 6.1 показаны зонные диаграммы различных этапов формирования контакта металл–полупроводник. При достижении равновесия в области контакта токи термоэлектронной эмиссии выравниваются, вследствие эффекта поля возникает потенциальный барьер, высота которого равна разности термодинамических работ выхода: φк = ФМе – Фп/п. Для контакта « металл– полупроводник p-типа» выберем условие, чтобы термодинамическая рабо-
26
та выхода из полупроводника Фп/п была больше, чем термодинамическая |
|||||
работа выхода из металла ФМе. В этом случае ток термоэлектронной эмис- |
|||||
сии с поверхности полупроводника jп/п будет меньше, чем ток термоэлек- |
|||||
тронной эмиссии с поверхности металла согласно уравнению (6.1). При кон- |
|||||
такте таких материалов в начальный момент времени ток из металла в по- |
|||||
лупроводник p-типа будет превышать обратный ток из полупроводника в |
|||||
металл, и в приповерхностных областях полупроводника и металла будут |
|||||
накапливаться объемные заряды – положительные в металле и отрица- |
|||||
тельные в полупроводнике (рис. 6.1). |
|
|
|||
JМе > п/п |
Jп/п > Ме |
|
JМе > п/п |
Jп/п > Ме |
|
|
|
|
E=0 |
|
E=0 |
|
|
|
|
|
|
ΦМе |
|
Φп/п < ΦМе |
|
|
|
|
|
|
Ec |
|
Ec |
|
|
|
F |
|
|
F |
|
|
Ev |
|
F |
|
|
|
|
Ev |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ОПЗ |
|
Металл (Au) |
П/п (n-Si) |
|
|
W |
|
|
|
|
|
|
+ |
|
|
|
|
Au |
+ + n-Si |
|
|
|
|
|
+ |
|
|
|
Электроны Ионизированные |
||
|
|
|
|
|
доноры |
|
|
|
Рис. 6.1. |
|
|
j, А |
|
|
|
|
|
10–1 |
|
Прямоесмещениеещение |
|
|
|
|
Обратное смещение |
|
|||
10–3 |
|
Обратное смещение |
|
||
|
|
|
|
|
|
10–5 |
|
|
|
|
|
10–7 |
|
|
|
|
|
10–9 |
|
|
|
|
|
10–5 |
10–4 |
10–3 10–2 |
10–1 100 |
U, В |
|
|
|
|
Рис. 6.2 |
|
|
|
|
|
27 |
|
|
Теоретическая вольт-амперная характеристика контакта металл– полупроводник имеет вид (рис. 6.2):
|
eU |
|
, |
||
j(U ) = j S × exp |
|
|
- 1 |
||
|
|||||
|
kT |
|
|
||
где e – заряд электрона; jS – плотность тока насыщения. Для контакта ме-
талл–полупроводник плотность тока насыщения можно представить в виде
jS= AT2 e− |
k |
к |
|
|
|
||
T |
, |
||
где φк – контактная разность потенциалов. |
|
|
|
СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
1.Акустические кристаллы: Справ. / Под. ред. М. П. Шаскольской. М.:
Наука, 1982. 632 с.
2.Ашкрофт Н., Мермин Н. Физика твердого тела. М.: Мир, 1979. 393 с.
3.Блатт Ф. Физика электронной проводимости в твердых телах. М.: Мир, 1971. 470 с.
4. Введение в нанотехнологию: |
Учеб. пособие / В. А. Жабрев, |
Г. Н. Лукьянов, В. И. Марголин, |
В. В. Рыбалко, В. А. Тупик. М.: Моск. |
гос. инст. электроники и математики (техн. ун-т), 2007. 293 с.
5.Вендик О. Г., Вендик И. Б. Электроника твердого тела. Л.: Изд-во ЛЭТИ, 1975. 78 с.
6.Горбачев В. В., Спицина Л. Г. Физика полупроводников и металлов. М.: Металлургия, 1981. 435 с.
7.Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 791 с.
8.Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. Физические основы микро-
электроники: Учебник для вузов. М.: Изд. центр « Академия», 2008. 400 с.
9.Чопра К. Л. Электрические явления в тонких пленках. М.: Мир, 1972. 320 с.
10.Шалимова К. В. Физика полупроводников. М.: Энергия, 1976. 311 с.
11.Шаскольская М. П. Кристаллография. М.: Высш. шк., 1976. 376 с.
28
ПРИЛОЖЕНИЯ
1. Некоторые свойства элементов
|
|
|
|
Плотность, /гсм |
МодульЮнга, 10 |
Удельноесопротивление, мкОм·см |
Температура, К |
Работа выходаϕ, эВ |
||
Элемент |
Структура |
Атомная масса |
Параметр решетки, Å |
|
|
|
||||
Дебая T( |
Ферми T( |
плавления T( |
||||||||
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
/ м Н |
|
|
) |
|
|
|
|
|
|
|
) |
–4 |
) |
|
||
|
|
|
|
|
11 |
|
D |
·10 |
пл |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Na |
ОЦК |
22,9 |
4,23 |
1,013 |
0,068 |
4,75 |
158 |
3,75 |
371 |
2,35 |
Mg |
ГПУ |
24,30 |
3,2 |
1,74 |
0,354 |
4,30 |
400 |
8,27 |
922 |
3,64 |
Al |
ГЦК |
26,98 |
4,05 |
2,7 |
0,722 |
2,74 |
428 |
13,49 |
933 |
3,74 |
Ti |
ГПУ |
47,9 |
2,95 |
4,51 |
1,051 |
43,1 |
420 |
|
1933 |
|
Cr |
ОЦК |
51,96 |
2,88 |
7,19 |
1,901 |
12,9 |
360 |
|
2130 |
|
Fe |
ОЦК |
55,84 |
2,87 |
7,87 |
1,683 |
9,8 |
470 |
13,0 |
1808 |
4,31 |
Cu |
ГЦК |
63,54 |
3,61 |
8,93 |
1,37 |
1,7 |
343 |
8,12 |
1356 |
4,47 |
Nb |
ОЦК |
92,91 |
3,3 |
8,58 |
1,70 |
14,5 |
275 |
6,18 |
2741 |
4,01 |
Ag |
ГЦК |
107,87 |
4,09 |
10,50 |
1,007 |
1,61 |
225 |
6,36 |
1234 |
4,28 |
In |
тетра |
114,82 |
4,59 |
7,29 |
0,411 |
8,75 |
108 |
9,98 |
429,8 |
|
Sn |
алмаз |
118,6 |
5,32 |
5,76 |
1,11 |
11,0 |
200 |
11,6 |
505 |
4,11 |
Sb |
ромб |
121,7 |
4,51 |
6,69 |
0,383 |
41,3 |
211 |
12,7 |
900,4 |
4,08 |
Cs |
ОЦК |
132,9 |
6,05 |
1,999 |
0,02 |
20 |
38 |
1,83 |
302 |
1,81 |
W |
ОЦК |
183,8 |
3,16 |
19,25 |
3,232 |
53 |
400 |
|
3683 |
4,63 |
Au |
ГЦК |
196,9 |
4,08 |
19,28 |
1,732 |
2,2 |
165 |
6,39 |
1337 |
4,58 |
Pb |
ГЦК |
207,2 |
4,95 |
11,31 |
0,43 |
21 |
105 |
10,8 |
601 |
4,52 |
Bi |
ромб |
208,9 |
4,75 |
9,8 |
0,315 |
11,6 |
119 |
54 |
544,5 |
4,4 |
Zn |
ГЕК |
65,38 |
2,66 |
7,14 |
0,598 |
5,96 |
234 |
10,9 |
693 |
3,86 |
Ni |
ГЦК |
58,71 |
3,52 |
8,9 |
1,86 |
6,9 |
375 |
|
1726 |
4,84 |
Pt |
ГЦК |
195,09 |
3,92 |
21,45 |
2,783 |
10,58 |
230 |
|
2045 |
5,29 |
Ta |
ОЦК |
180,95 |
3,31 |
16,6 |
2,00 |
13,2 |
225 |
|
|
|
Mo |
ОЦК |
95,94 |
3,15 |
10,2 |
2,725 |
5,2 |
380 |
|
2890 |
4,37 |
V |
ОЦК |
50,942 |
3,02 |
6,1 |
1,619 |
24,8 |
390 |
|
2163 |
|
Rb |
ОЦК |
85,47 |
5,59 |
1,53 |
0,031 |
11,29 |
56 |
2,15 |
312 |
2,16 |
29
2. Свойства полупроводников
|
Полупроводник |
|
Ширина |
Эффективная масса |
|
Подвижность |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
запрещенной зоны |
|
|
Работа |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
выхода, |
|
|
|
EG |
|
EG |
m*n / me |
|
m*p / me |
|
µn, |
µp, |
|
эВ |
|
|
|
(0 К), эВ |
(300 К), эВ |
|
см2·В–1·с-1 |
см2·В–1·с–1 |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Si |
1,166 |
|
1,11 |
ml 0,98 |
|
m*p |
0,5 |
1350 |
480 |
|
4,83 |
||
|
|
|
|
|
|
mt 0,19 |
|
т |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m*p |
0,16 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
л |
|
|
|
|
|
|
|
Ge |
0,74 |
|
0,67 |
ml 1,58 |
|
m*p |
0,3 |
3900 |
1900 |
|
4,80 |
||
|
|
|
|
|
|
mt 0,082 |
|
т |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m*p |
0,04 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
л |
|
|
|
|
|
|
|
GaAs |
1,52 |
|
1,43 |
0,07 |
|
m*p |
0,5 |
8600 |
400 |
|
4,71 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
т |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m*p |
0,12 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
л |
|
|
|
|
|
|
|
GaSb |
0,81 |
|
0,69 |
0,045 |
|
0,39 |
4000 |
650 |
|
4,76 |
|||
|
InAs |
0,43 |
|
0,36 |
0,028 |
|
0,33 |
30000 |
240 |
|
4,90 |
|||
|
InSb |
0,235 |
|
0,17 |
0,0133 |
|
m*p |
0,6 |
76000 |
5000 |
|
4,75 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
т |
|
|
|
(78 К) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m*pл 0,012 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
InP |
1,42 |
|
1,28 |
0,07 |
|
0,4 |
4000 |
650 |
|
4,45 |
|||
|
AlSb |
1,6 |
|
1,6 |
0,11 |
|
0,39 |
50 |
400 |
|
4,86 |
|||
|
|
|
|
Приложение 3. Фундаментальные постоянные |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
№ п / п |
|
|
|
Физическая величина |
|
|
|
Значение |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
1 |
|
Элементарный заряд, e |
|
|
|
1,602177·10–19 Кл |
|
||||||
|
2 |
|
Электрон-вольт (эВ) |
|
|
|
1,602177·10–19 Дж |
|
||||||
|
3 |
|
Масса покоя протона, mp |
|
|
|
1,672623·10–27 кг |
|
||||||
|
4 |
|
Масса покоя электрона, me |
|
|
|
9,109389·10–31 кг |
|
||||||
|
5 |
|
Удельный заряд электрона, – e / me |
|
|
–1,758819·1011 Кл/кг |
|
|||||||
|
6 |
|
Постоянная Планка, h |
|
|
|
6,626075·10–34 Дж·с |
|
||||||
|
7 |
|
Постоянная Планка, = h 2π |
|
|
|
1,054572·10–34 Дж·с |
|
||||||
|
8 |
|
Постоянная Авогадро, NA |
|
|
|
6,022136·1023 моль-1 |
|||||||
|
9 |
|
Постоянная Больцмана, kБ |
|
|
|
1,380658·10–23 Дж/К |
|
||||||
|
10 |
|
Универсальная газовая постоянная, R |
|
8,314 Дж/(моль·К) |
|
||||||||
|
11 |
|
Скорость света, с |
|
|
|
|
|
2,997925·108 м/c |
|
||||
|
12 |
|
Боровский радиус a0 |
|
|
|
0,529117·10–10 м |
|
||||||
|
13 |
|
Магнитная постоянная, µ0 |
|
|
|
12,566371·10–7 Гн/м |
|
||||||
|
14 |
|
Электрическая постоянная, ε0 |
|
|
|
8,854187·10–12 Ф/м |
|
||||||
30