МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Кафедра микро- и наноэлектроники
Курсовая РАБОТА
«Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники»
Тема: «Термодинамический анализ физико-химического процесса»
К ЗАЩИТЕ
температура источника Te
Анализ окисления, см. задачу в ЛК
Студент гр. 8204 |
|
Овсянников А.И. |
Преподаватель |
|
Максимов А. И. |
Санкт-Петербург
2020
ЗАДАНИЕ
на курсовую работу
Студент Овсянников А.И. |
||
Группа №8204 |
||
Тема работы: Термодинамический анализ физико-химического процесса
|
||
Исходные данные: Провести термодинамический анализ процесса выращивания монокристаллов (или эпитаксиальных слоев) соединения SnTe заданного типа n электропроводности из газообразных компонентов: Snгаз + ½ Te2 газ = SnTeтв |
||
Содержание пояснительной записки: «Содержание», «Введение», «Заключение», «Список использованных источников» |
||
Предполагаемый объем пояснительной записки: Не менее 24 страниц. |
||
Дата выдачи задания: 01.09.2020 |
||
Дата сдачи курсовой работы: __.__.2020 |
||
Дата защиты курсовой работы: __.__.2020 |
||
Студент |
|
Овсянников А.И |
Преподаватель |
|
Максимов А. И. |
Данная курсовая работа состоит из шести частей. В первой части приведено краткое описание соединения. Во второй части проводится анализ условий протекания процесса синтеза SnTe в прямом направлении и определяются необходимые для этого термодинамические параметры. В третьей части исследуется процесс сублимации компонентов соединения. Четвёртая часть представляет собой исследование стехиометрии состава. Пятая часть работы - определение парциальных давлений паров компонентов данного соединения и температур в реакторе, необходимых для выращивания монокристаллов исходного соединения. Шестая часть работы посвящена анализу возможности процесса окисления в реакторе.