Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования
«Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова»
ПРОИЗВОДСТВО МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ
Методические указания к выполнению курсовой работы для студентов по направлению подготовки
09.03.02 Информационные системы и технологии
Воронеж 2018
УДК 004
Зольников, В.К. Производство микроэлектронных приборов [Электронный ресурс]: методические указания к выполнению курсовой работы для студентов по направлению подготовки 09.03.02 Информационные системы и технологии / В.К. Зольников, С.А. Евдокимова, Т.В. Скворцова; М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВО «ВГЛТУ им. Г.Ф. Морозова». – Воронеж,
2018. – 21 с.
Рецензент начальник лаборатории АО «НИИЭТ» Яньков А.И.
Печатается по решению учебно-методического совета ФГБОУ ВО «ВГЛТУ им. Г.Ф. Морозова» (протокол № __ от _______ 2018 г.)
3
СОДЕРЖАНИЕ
1 |
Цель и задачи курсовой работы .............................................................................. |
4 |
2 |
Тематика курсовой работы...................................................................................... |
4 |
3 |
Задание к курсовой работе ...................................................................................... |
4 |
4 |
Требования к содержанию пояснительной записки курсовой работы ............... |
5 |
5 |
Требования к оформлению пояснительной записки курсовой работы ............. |
6 |
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ..................................................................... |
10 |
|
ПРИЛОЖЕНИЕ А. Варианты тем курсовой работы ............................................. |
11 |
|
ПРИЛОЖЕНИЕ Б. Форма титульного листа пояснительной записки курсовой
работы......................................................................................................................... |
15 |
ПРИЛОЖЕНИЕ В. Пример листа задания к курсовой работе ............................. |
16 |
ПРИЛОЖЕНИЕ Г. Примеры библиографических описаний для составления библиографических списков к различным видам изданий (ГОСТ 7.1 – 2003. Библиографическая запись. Библиографическое описание. Общие требования и
правила составления) ................................................................................................ |
18 |
ПРИЛОЖЕНИЕ Д. Пример оформления заголовков основной части текста
пояснительной записки............................................................................................. |
19 |
ПРИЛОЖЕНИЕ Е. Оформление оглавления пояснительной записки ................ |
20 |
4
1 Цель и задачи курсовой работы
Дисциплина «Производство микроэлектронных приборов» изучается студентами направления подготовки 09.03.02 Информационные системы и технологии (профиль Информационные системы и технологии в микроэлектронике) на 3 курсе.
Курсовая работа по дисциплине «Производство микроэлектронных приборов» позволяет закрепить и расширить знания, полученные студентами во время изучения дисциплины, применить эти знания к решению поставленных задач. Ее целью является приобретение практических навыков моделирования и проектирования микроэлектронных приборов.
2 Тематика курсовой работы
Тема курсовой работы – «Моделирование технологического процесса производства МОП транзистора».
Руководитель курсовой работы выдает студенту вариант курсовой работы и ее содержательную постановку задачи. Варианты тем к курсовой работе приведены в приложении А.
Результат выполнения курсовой работы оформляется в виде пояснительной записки, содержащей все документы разработки.
3 Задание к курсовой работе
Моделирование технологического процесса производства МОП транзистора в курсовой работе охватывает следующие этапы:
1)Создание структуры прибора с использованием SENTAURUS: - задание сетки; - задание областей;
- задание электродов; - легирование; - задание контактов.
2)Задание материалов для моделирования.
3)Задание методики расчета выходной и передаточной характеристик прибора.
4)Получение предварительного расчета.
5
5)Запуск моделирования для получения расчетов при различных параметрах моделирования.
6)Анализ результатов моделирования.
4 Требования к содержанию пояснительной записки курсовой работы
Пояснительная записка курсовой работы должна содержать:
Титульный лист;
Задание на курсовую работу;
Оглавление;
Введение;
Основную часть;
Заключение;
Список литературы;
Приложения.
Титульный лист выполняется в соответствии с приложением Б и является первым листом, входящим в подсчет объема пояснительной записки.
Задание выдается на курсовую работу персонально каждому студенту руководителем работы на специальном бланке, в котором обязательно приводится срок сдачи курсовой работы (приложение В).
Бланк задания располагается сразу за титульным листом пояснительной записки и так же, как и титульный лист, включается в объем пояснительной записки, но не нумеруется.
Оглавление включает в себя заголовки всех разделов, подразделов и пунктов.
Во введении приводятся:
формулировка цели и задач курсовой работы;
обоснование необходимости решения поставленной задачи;
наименование и краткая характеристика разрабатываемой системы автоматизированного проектирования.
Основная часть работы содержит:
1) описание создаваемой структуры прибора с использованием SENTAURUS: параметры сетки, областей, электродов, контактов, материалов и т.д.
2) Методику расчета выходной и передаточной характеристик прибора.