2. Научно-образовательный центр изучения государственности стран Южного Кавказа
3. Научно-образовательный центр судебной экспертизы и экспертных исследований
4. Научно-образовательный центр избирательного права и процесса
5. Проблемная научно-исследовательская лаборатория криминологических исследований
6. Проблемная научно-исследовательская лаборатория права интеллектуальной собственности
Институт сервиса, туризма и дизайна (филиал) СКФУ в г. Пятигорске:
1. Научно-исследовательская лаборатория технической, экологической, судебной экспертизы и оценки недвижимости
2. Научно-исследовательская лаборатория изучения проблем уголовной политики
3. Научно-образовательный центр криминалистических исследований и судебных экспертиз
4. Научно-исследовательская лаборатория мониторинга и информационных технологий в сфере сервиса туризма
5. Учебно-научная лаборатория при кафедре транспортных средств и процессов
2. Оборудование научно-исследовательская лаборатория технологии тонких пленок и наногетероструктур:
2.1 Система химического синтеза пленок карбида кремния, графена, углеродных нанотрубок EASYTUBE 3000
Установка предназначена для управляемого химического осаждения пленок карбида кремния из газовой фазы на подложках различного размера и формы до 50 мм в диаметре. Установка предназначена для разработки новых процессов осаждения пленок карбида кремния и других наноструктурированных материалов, в том числе: графена и нанотрубок.
Технические характеристики:
1) Шесть линий подачи газа с индивидуальным контролем потока каждой линии.
2) Система подачи паров жидких прекурсоров типа MTS при пониженном давлении в реакторе.
3) Статический миксер для оптимального смешивания газов.
4) Интегрированная система автоматического контроля низкого давления для создания и поддержания пониженного давления в процессе синтеза.
5) RF - высокочастотный нагрев.
6) Рабочая температура процесса до 1500 С.
2.2 Установка плазмохимического травлениЯ TRION III
Установка предназначена для плазмохимического травления пленок из материалов SiO2, Si3N4, SiOxNy, SiC, DLC и плазмохимического осаждения пленок алмазоподобного углерода (a-C:H (DLC)).
Технические характеристики:
1) Алюминиевый электрод с подложкодержателем диаметром 240 мм с жидкостным охлаждением и подводом ВЧ напряжения. Графитовый экран электрода.
2) Чиллер с диапазоном температур 0 -+80 °С для охлаждения электрода подложкодержателя. Управление чиллером интегрировано в систему управления установкой.
3) ВЧ генератор 13.56 МГц, мощностью 600 Вт с автоматической системой согласования нагрузки для подачи ВЧ смещения на подложку. Начальные положения конденсаторов системы согласования могут быть установлены в качестве уникальных параметров технологического процесса.
4) Затвор переменного сечения VAT 150 мм для системы автоматического поддержания давления в рабочей камере.
5) Турбомолекулярный насос Alcatel 400 л/с, химическая серия.
6) Пластинчато-роторный форвакуумный насос 33 м3/ч, Fomblin версия с фильтром масла. Для работы требуется линия подачи сухого чистого азота 3-6 атм. со средним расходом 8-10 л/мин.
7) Стабилизированный емкостной датчик с диапазоном 2 Тор и датчик Пеннинга.
8) Блок автоматики и управления на основе контроллера PLC.
9) Вентилируемый газораспределительный шкаф на 12 линий с установленными регуляторами расхода газа и клапанами на 4 линий.
10) Газы: CH4, SF6, N2O или O2, Ar.
2.3 Установка молекулярного наслаивания TFS-200
Установка предназначена для реализации процессов термического и плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластинах 50-200 мм. Технические характеристики:
1) Температура подложки: 25 - 500 °C;
2) Тип и размеры реакционной камеры: одна подложка: ш200 Ч 3 (mm).
3) Режимы работы ALD и PE ALD.
2.4 Установка магнетронного распыления
Установка предназначена для осаждения металлических и диэлектрических покрытий и структур на кремнии, стекле и других материалах.
Основные технические характеристики:
Габаритные размеры, ШxГxВ, мм: 1200x700x1200
Диаметр камеры, мм: 300
Предельное давление в камере, торр: 1 x
Тип держателя подложек: вращающийся с взаимозаменяемыми держателями/патронами
Управление системой: полностью автоматическое с контроллером
Средняя потребляемая мощность, кВт: при питании 220 В переменного тока - 3 фазы -50 Гц: 3
Подача охлаждающей воды, кгс/cм2: 3 - 5
Температура охлаждающей воды, 0C: 10 - 25
Давление сжатого воздуха, кгс/cс2: 4 - 6
3. Индивидуальное задание: Методика проведения экспериментов
Для проведения эксперимента любого типа необходимо: разработать гипотезу, подлежащую проверке; создать программы экспериментальных работ; определить способы и приемы вмешательства в объект исследования; обеспечить условия для осуществления процедуры экспериментальных работ; разработать пути и приемы фиксирования хода и результатов эксперимента; подготовить средства эксперимента (приборы, установки, модели и т.п.); обеспечить эксперимент необходимым обслуживающим персоналом.
Особое значение имеет правильная разработка методик эксперимента. Методика -- ?то совокупность мыслительных и физических операций, размещенных в определенной последовательности, в соответствии с которой достигается цель исследования.
При разработке методик проведения эксперимента необходимо предусматривать:
· проведение целенаправленного предварительного наблюдения над изучаемым объектом или явлением с целью определения исходных данных (гипотез, выбора варьирующих факторов);
· создание условий, в которых возможно экспериментирование (подбор объектов для экспериментального воздействия, устранение влияния случайных факторов);
· определение пределов измерений; систематическое наблюдение за ходом развития изучаемого явления и точные описания фактов;
· проведение систематической регистрации измерений и оценок фактов различными средствами и способами;
· создание повторяющихся ситуаций, изменение характера условий и перекрестные воздействия, создание усложненных ситуаций с целью подтверждения или опровержения ранее полученных данных;
· переход от эмпирического изучения к логическим обобщениям, к анализу и теоретической обработке полученного фактического материала.
Правильно разработанная методика экспериментального исследования предопределяет его ценность. Поэтому разработка, выбор, определение методики должно проводиться особенно тщательно.
При определении методики необходимо использовать не только личный опыт, но и опыт товарищей и других коллективов. Необходимо убедиться в том, что она соответствует современному уровню науки, условиям, в которых выполняется исследование. Целесообразно проверить возможность использования методик, применяемых в смежных проблемах и науках.
Выбрав методику эксперимента, исследователь должен удостовериться в ее практической применимости. ?то необходимо сделать даже в том случае, если методика давно апробирована практикой других лабораторий, так как она может оказаться неприемлемой или сложной в силу специфических особенностей климата, помещения, лабораторного оборудования, персонала, объекта исследований и т. п.
Перед каждым экспериментом составляется его план (программа), который включает: цель и задачи эксперимента; выбор варьирующих факторов; обоснование объема эксперимента, числа опытов; порядок реализации опытов, определение последовательности изменения факторов; выбор шага изменения факторов, задание интервалов между будущими экспериментальными точками; обоснование средств измерений; описание проведения эксперимента; обоснование способов обработки и анализа результатов эксперимента.
Применение математической теории эксперимента -позволяет уже при планировании определенным образом оптимизировать объем экспериментальных исследований и повысить их точность.
Важным ?тапом подготовки к эксперименту является определение его целей и задач. Количество задач для конкретного эксперимента не должно быть слишком большим (лучше 3...4, максимально 8...10).
Перед экспериментом надо выбрать варьируемые факторы, т.е. установить основные и второстепенные характеристики, влияющие на исследуемый процесс, проанализировать расчетные (теоретические) схемы процесса. На основе ?того анализа все факторы классифицируются и составляется из них убывающий по важности для данного эксперимента ряд. Правильный выбор основных и второстепенных факторов играет важную роль в эффективности эксперимента, поскольку эксперимент и сводится к нахождению зависимостей между ?тими факторами. Иногда бывает трудно сразу выявить роль основных и второстепенных факторов. В таких случаях необходимо выполнять небольшой по объему предварительный поисковый опыт.
Основным принципом установления степени важности характеристики является ее роль в исследуемом процессе. Для ?того процесс изучается в зависимости от какой-то одной переменной при остальных постоянных. Такой принцип проведения эксперимента оправдывает себя лишь в тех случаях, когда таких характеристик мало -- 1...3. Если же переменных величин много, целесообразен принцип многофакторного анализа, рассматриваемый ниже.
Необходимо также обосновать набор средств измерений (приборов) другого оборудования, машин и аппаратов. В связи с ?тим экспериментатор должен быть хорошо знаком с выпускаемой в стране измерительной аппаратурой (при помощи ежегодно издающихся каталогов, по которым можно заказать выпускаемые отечественным приборостроением те или иные средства измерений). Естественно, что в первую очередь следует использовать стандартные, серийно выпускаемые машины и приборы, работа на которых регламентируется инструкциями, ГОСТами и другими официальными документами.
В отдельных случаях возникает потребность в создании уникальных приборов, установок, стендов, машин для разработки темы. При ?том разработка и конструирование приборов и других средств должны быть тщательно обоснованы теоретическими расчетами и практическими соображениями о возможности изготовления оборудования. При создании новых приборов желательно использовать готовые узлы выпускаемых приборов или реконструировать существующие приборы. Ответственный момент -- установление точности измерений и погрешностей.
Методы измерений должны базироваться на законах специальной науки -- метрологии, изучающей средства и методы измерений.
При экспериментальном исследовании одного и того же процесса (наблюдения и измерения) повторные отсчеты на приборах, как правило, неодинаковы. Отклонения объясняются различными причинами -- неоднородностью свойств изучаемого тела (материал, конструкция и т.д.), не совершенностью приборов и классов их точности, субъективными особенностями экспериментатора и др. Чем больше случайных факторов, влияющих на опыт, тем больше расхождения цифр, получаемых при измерениях, т. е. тем больше отклонения отдельных измерений от среднего значения. ?то требует повторных измерений, а следовательно, необходимо знать их минимальное количество. Под потребным минимальным количеством измерений понимают такое количество измерений, которое в данном опыте обеспечивает устойчивое среднее значение измеряемой величины, удовлетворяющее заданной степени точности. Установление потребного минимального количества измерений имеет большое значение, поскольку обеспечивает получение наиболее объективных результатов при минимальных затратах времени и средств.
В методике подробно разрабатывается процесс проведения эксперимента, составляется последовательность (очередность) проведения операций измерений и наблюдений, детально описывается каждая операция в отдельности с учетом выбранных средств для проведения эксперимента, обосновываются методы контроля качества операций, обеспечивающие при минимальном (ранее установленном) количестве измерений высокую надежность и заданную точность. Разрабатываются формы журналов для записи результатов наблюдений и измерений.
Важным разделом методики является выбор методов обработки и анализа экспериментальных данных. Обработка данных сводится к систематизации всех цифр, классификации, анализу. Результаты экспериментов должны быть сведены в удобочитаемые формы записи -- таблицы, графики, формулы, номограммы, позволяющие быстро и доброкачественно сопоставлять полученное и проанализировать результаты. Все переменные должны быть оценены в единой системе единиц физических величин. молекулярный наслаивание наногетероструктура
Особое внимание в методике должно быть уделено математическим методам обработки и анализу опытных данных, например, установлению эмпирических зависимостей, установлению критериев и доверительных интервалов и др. Диапазон чувствительности (нечувствительности) критериев должен быть стабилизирован.