Материал: Sb95845

сдают преподавателю лично или по электронной почте по утвержденному деканатом ОФ графику. Контрольная работа оценивается преподавателем по методике, изложенной выше.

Методика формирования предварительной оценки по дисциплине

Оценка по дисциплине определяется как средний балл из двух оценок за теоретическую подготовку и двух оценок за практические занятия. При получении студентом неудовлетворительной оценки по одной из четырех перечисленных выше аттестаций или незачета по лабораторным работам, а также при пропуске промежуточных аттестаций по уважительной причине указанные разделы программы подлежат пересдаче в установленные сроки для получения итоговой аттестации по дисциплине.

Список литературы

1.Александров О. В. Технологические процессы изготовления СБИМС: учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2015.

2.Технология интегральных микросхем: метод. указания к лаб. работам по дисциплине «Специальные вопросы технологии производства ИМС» / сост. О. В. Александров. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2013.

3.Технологическое моделирование фрагмента ИМС: метод. указания к курсовой работе по дисциплине «Специальные вопросы технологии интегральных микросхем» / сост. О. В. Александров. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ

«ЛЭТИ», 2014.

4.Барыбин А. А. Электроника и микроэлектроника: физико-техноло- гические основы. М.: Физматлит, 2008.

5.Коледов Л. А. Технология и конструирование микросхем, микропроцессоров и микросборок. М.: Радио и связь, 2008.

6.МОП-СБИМС. Моделирование элементов и технологических процессов / под ред. П. Антонетти. М.: Радио и связь, 1988.

7.Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М.: Высш. шк., 1986.

8.Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987.

26

9.Красников Г. Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов: в 2 т. М.: Техносфера, 2004.

10.Технология СБИМС: в 2 кн. / под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986.

27