11.5 |
Методы подгонки параметров элементов |
|
толстопленочных ГИС |
Существуют несколько методов подгонки параметров:
-метод лазерной подгони, метод высоковольтного импульсного разряда,
-химический и электрохимический методы.
Лазерная подгонка
Форма «резов» при лазерной подгонке резисторов: а) поперечный; б) продольный; в) комбинированный
Метод высоковольтного импульсного разряда
Воздействие на резисторы высоковольтных импульсов (τ ~ 0,1 3 с). Подача таких импульсов вызывает изменения в структуре пленки, приводящие как к росту, так и к уменьшению сопротивления.
Химический и электрохимический методы
Химический метод - на восстановительных или окислительных реакциях, происходящих в резистора под воздействием горячей струи О2 или Н2. Электрохимический метод – на аналогичных реакциях в электролите.