Материал: FKhOT_11_Tolstoplenochnye_GIS

Внимание! Если размещение файла нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам

11.5

Методы подгонки параметров элементов

 

толстопленочных ГИС

Существуют несколько методов подгонки параметров:

-метод лазерной подгони, метод высоковольтного импульсного разряда,

-химический и электрохимический методы.

Лазерная подгонка

Форма «резов» при лазерной подгонке резисторов: а) поперечный; б) продольный; в) комбинированный

Метод высоковольтного импульсного разряда

Воздействие на резисторы высоковольтных импульсов (τ ~ 0,1 3 с). Подача таких импульсов вызывает изменения в структуре пленки, приводящие как к росту, так и к уменьшению сопротивления.

Химический и электрохимический методы

Химический метод - на восстановительных или окислительных реакциях, происходящих в резистора под воздействием горячей струи О2 или Н2. Электрохимический метод – на аналогичных реакциях в электролите.