Материал: Iskhodnye_dannye_brigady_1

Зарипов Тимур № 1 № 2 № 3 № 4

Сандркин Вячеслав № 1 № 2 № 3 № 4

Хайсаров Ринат № 1 № 2 № 3 № 4

Шабашев Валера № 1 № 2 № 3 № 4

Лабораторная работа № 1

1. Получить у преподавателя исходные данные для расчета: окислительная среда, температуры процесса.

Окислительная среда – сухое окисление

Температуры процесса – Т₁ = 900°С и Т₂ = 1200°С

2. Рассчитать и построить графики зависимостей толщины оксидной пленки от времени окисления при различных температурах Т₁ и Т₂.

=======================================================================

Лабораторная работа № 2

1. Получить у преподавателя исходные данные для расчета: вид диффузанта, температура, условия процесса, концентрация примеси в приповерхностном слое, исходная концентрация примеси в подложке, доза легирования.

Вид диффузанта – мышьяк.

Температура – Т=1150°С

Условия процесса – из ограниченного источника.

Исходная концентрация примеси (акцепторы) в подложке С_исх = 5∙10¹⁶ см^-3.

Доза легирования Q = 7∙10¹³ см^-3.

2. Рассчитать и построить графики зависимостей концентрации примесей от глубины в различные моменты времени.

t₁ = 1 час; t₂ = 2 часа.

3. В случае диффузии из ограниченного источника рассчитать глубину залегания p-n – перехода и сравнить это значение с полученным из графика.

======================================================================

Лабораторная работа № 3

1. Получить у преподавателя исходные данные для расчета: материал мишени, вид ионов, энергию ионов, дозу облучения, исходную концентрацию примеси в мишени.

Материал мишени – кремний.

Вид ионов – мышьяк.

Энергия ионов – 140 кэВ.

Доза облучения - 7∙10¹⁴ см^-2.

Исходная концентрация примеси (акцепторы) в мишени - 2∙10¹⁷ см^-3.

2. Рассчитать и построить график профиля распределения примеси по глубине.

3. Определить глубину залегания p-n – перехода.

=================================================================================

Лабораторная работа № 4

1. Получить у преподавателя исходные данные для расчета: материал мишени, тип ионов.

Материал мишени – никель Ni.

Тип ионов – аргон Ar.

2. Рассчитать зависимость коэффициента распыления мишени от энергии ионов.

3. Определить энергию, соответствующую максимуму зависимости K(E).